[发明专利]微发光二极管阵列平版印刷术

权利要求书

1.一种平版印刷术设备，包括：

基板扫描系统，经配置以扫描基板；和

一个或多个微发光二极管阵列，由成像系统成像至所述基板上，其中硬连线逻辑电路结合到所述一个或多个微发光二极管阵列中，并且经配置以在一个扫描方向中使逻辑信号移位，并且经配置以使用所述逻辑信号来使单独的LED完全地接通或完全地关断。

2.如权利要求1所述的平版印刷术设备，其中连接到所述一个或多个微发光二极管阵列中的所述硬连线逻辑电路经配置以延迟有关于特定图案元素的灰度的所述逻辑信号的施加。

3.如权利要求2所述的平版印刷术设备，进一步包括：

经配置以切换所述硬连线逻辑电路的布置，所述硬连线逻辑电路经配置以延迟所述逻辑信号到达所述硬连线逻辑电路，所述硬连线逻辑电路结合到所述一个或多个微发光二极管阵列中，其中能够当在第一方向或第二方向中扫描时使用所述逻辑电路；或

经配置以改变结合到所述一个或多个微发光二极管阵列中的所述硬连线逻辑电路的布置，所述硬连线逻辑电路经配置以在一个扫描方向中使所述逻辑信号移位，使得所述逻辑信号移位至相反方向。

4.如权利要求1所述的平版印刷术设备，进一步包括：

触发器电路，经配置以存储逻辑状态并且将所述逻辑状态从一个二极管传送至另一个二极管，和延迟逻辑信号的到达。

5.如权利要求4所述的平版印刷术设备，进一步包括：

系统时钟，连接到每个所述触发器，其中时钟频率与所述扫描速度直接相关。

6.如权利要求1所述的平版印刷术设备，其中

对应于所述阵列中的每个发光二极管的所述逻辑布置在所述发光二极管之间的空间中结合到所述发光二极管基板中，或者

提供跨越成像于所述基板上的最小特征尺寸的二极管的数量的3:1比率。

7.如权利要求1所述的平版印刷术设备，进一步包括：

浸没透镜阵列，所述浸没透镜与发光二极管的每个阵列光学接触。

8.如权利要求1所述的平版印刷术设备，其中发光二极管的每个阵列是直线的，具有在二极管之间的均匀间距，并且定向为二极管的每个列平行于扫描方向对准，并且其中在所述扫描方向中的二极管的数量是由m(2ⁿ-1)的公式给出的，其中m和n是整数，并且2ⁿ是可由列产生的不同灰度的数量。

9.如权利要求1所述的平版印刷术设备，其中

所述至少一个发光二极管阵列的所有二极管是正方形的，或者

每个列中互连的发光二极管的数量由包含的二的整数幂表示。

10.如权利要求1所述的平版印刷术设备，进一步包括：

检测器阵列，位于基板焦平面中并且被配置而其中可测量由每个阵列中二极管的每一列中2ⁿ个发光二极管的每个群组产生的曝光剂量；或

光学列，包含所述成像系统，所述光学列安装在桥上，所述桥经配置以在交叉扫描方向中移动。

11.一种平版印刷术设备，包括：

基板扫描系统，经配置以扫描基板；

一个或多个微发光二极管阵列，由成像系统成像至所述基板上，其中硬连线逻辑电路结合到所述一个或多个微发光二极管阵列中，并且经配置以在一个扫描方向中使逻辑信号移位，并且经配置以使用所述逻辑信号来使单独的LED完全地接通或完全地关断；

成像系统，包含分束器和相机，所述相机观察在先前平版印刷术步骤中所产生的在所述基板上的图案连同从所述发光二极管阵列投射并且从所述基板反射的对准图案；和

图案识别系统，所述图案识别系统识别所述基板上的特定图案和来自所述发光二极管阵列的投射的所述对准图案，并且测量所述特定图案和所述对准图案的相对位置。