[发明专利]复合密封件

权利要求书

1.一种复合密封件，所述复合密封件是使第一构件和第二构件左右相邻而成的环状的复合密封件，其特征在于，

所述第一构件包括：

密封主体部；以及

唇部，所述唇部从所述密封主体部朝向所述复合密封件的厚度方向的上侧延伸设置，

所述第一构件的唇部朝向与相邻的所述第二构件相反一侧的外侧以倾斜姿势延伸，

所述第二构件包括：

基部；以及

延设片，所述延设片从所述基部朝向所述复合密封件的厚度方向的上侧延伸设置，

所述延设片朝向相邻的所述第一构件以倾斜姿势延伸，

所述基部的底部由与所述密封主体部的底部共面的平面构成，

所述复合密封件用于对一个构件与另一个构件之间进行密封，并且当所述复合密封件安装在设置于所述一个构件的密封槽内时，所述第一构件位于所述密封槽的一个壁侧，所述第二构件位于另一个壁侧，

在将所述复合密封件安装于所述密封槽内，并且使所述一个构件和所述另一个构件靠近以获得密封性能时，所述延设片会在所述第一构件的唇部之后与所述另一个构件抵接。

2.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述唇部的倾斜角度在30～60度的范围内。

3.如权利要求1或2所述的复合密封件，其特征在于，

在所述第一构件的密封主体部中的、与相邻的所述第二构件相反一侧的侧部设置有隆起部。

4.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

在所述密封主体部的底部设置有凹部。

5.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述延设片的倾斜角度在50～80度的范围内。

6.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

在所述基部设置有与所述第一构件嵌合的嵌合凸部。

7.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一构件由弹性构件构成，

所述第二构件由比所述第一构件更硬质的材料构成。

8.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一构件和所述第二构件通过粘接剂彼此粘接。

9.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述复合密封件的厚度方向的最大高度相对于所述密封槽的最大深度在1.10～1.70倍的范围内。

10.如权利要求1或9所述的复合密封件，其特征在于，

所述复合密封件的左右方向的、从第一构件的端部到第二构件的端部的最大宽度相对于所述密封槽的开口的最窄宽度在1.01～1.30倍的范围内。

11.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述密封槽是燕尾槽和矩形槽中的任一个。

12.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述一个构件和另一个构件是半导体制造装置。

13.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

在设置于所述一个构件的密封槽的外侧还设置有其他槽，在所述其他槽内配设有截面大致四边形的垫片构件。

14.如权利要求13所述的复合密封件，其特征在于，

在所述垫片构件配设于其他槽时，

从所述其他槽的开口向所述另一个构件侧突出的所述垫片构件的突出量在0.30～1.00mm的范围内。