[发明专利]感光性树脂组合物、感光性片材、以及它们的固化膜及其制造方法、电子部件

权利要求书

1.感光性树脂组合物，其含有：(A)树脂，其为选自由环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及聚硅氧烷组成的组中的任1种以上；(B)热产碱剂；及(C)感光剂，所述(B)热产碱剂含有胍衍生物及/或双胍衍生物，所述(C)感光剂含有(c-1)光产酸剂及/或(c-2)光自由基聚合引发剂。

2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)树脂含有聚酰亚胺前体。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)树脂含有聚硅氧烷。

4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)热产碱剂含有具有季硼阴离子的胍衍生物及/或双胍衍生物。

5.如权利要求1～4所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)热产碱剂含有通式(1)所示的化合物，

[化学式1]

通式(1)中，R¹～R⁷各自独立地表示氢原子或者经取代或未取代的下述基团，所述基团为碳原子数为1～50的烷基、碳原子数为6～50的芳基或碳原子数为7～50的芳基烷基，

Z^-表示羧酸根或硼酸根阴离子。

6.如权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述通式(1)中的Z^-包含通式(2)～(4)中的任意结构，

[化学式2]

通式(2)中，R⁸～R¹⁶各自独立地表示氢原子、卤原子、硝基或者经取代或未取代的下述基团，所述基团为碳原子数为1～50的烷基、碳原子数为6～50的芳基、碳原子数为7～50的芳基烷基或碳原子数为1～50的烷氧基，

[化学式3]

通式(3)中，R¹⁷～R²⁵各自独立地表示氢原子、卤原子、硝基或者经取代或未取代的下述基团，所述基团为碳原子数为1～50的烷基、碳原子数为6～50的芳基、碳原子数为7～50的芳基烷基或碳原子数为1～50的烷氧基，

Y表示氧原子或硫原子，

[化学式4]

通式(4)中，R²⁶～R²⁹表示氢原子、卤原子或者经取代或未取代的下述基团，所述基团为碳原子数为1～50的烷基、碳原子数为1～50的烷氧基、碳原子数为2～50的链烯基、碳原子数为2～50的炔基、碳原子数为6～50的芳基、碳原子数为7～50的芳基烷基、碳原子数为7～50的芳基炔基、呋喃基、噻吩基或吡咯基。

7.如权利要求6所述的感光性树脂组合物，其中，所述通式(1)中的Z^-为通式(5)，

通式(5)中，R³⁰表示经取代或未取代的下述基团，所述基团为碳原子数为1～50的烷基、碳原子数为1～50的烷氧基、碳原子数为2～50的链烯基、碳原子数为2～50的炔基、碳原子数为6～14的芳基、碳原子数为7～15的芳基烷基、碳原子数为7～15的芳基炔基、呋喃基、噻吩基或吡咯基，

R³¹～R³³表示经取代或未取代的碳原子数为6～50的芳基。

8.如权利要求1～7所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)树脂含有具有联苯结构的聚酰亚胺前体。

9.如权利要求1～8所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)树脂含有聚酰亚胺前体，所述聚酰亚胺前体具有3元以上的氨基化合物的残基。

10.如权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)感光剂含有(c-1)光产酸剂。