[发明专利]多芯套圈用研磨材料在审
| 申请号： | 201980045041.3 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112384329A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 富冈祐辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社亚都玛科技 |
| 主分类号： | B24D3/00 | 分类号： | B24D3/00;B24D3/28;C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多芯套圈用 研磨 材料 | ||
【权利要求书】：
1.一种多芯套圈用研磨材料，具有由树脂材料构成的粘合剂和分散在所述粘合剂中的磨粒，
以所述磨粒和所述粘合剂的质量之和为基准，含有超过88.5％的所述磨粒，
以所述磨粒的质量为基准，存在70％以上且小于100％的粒径100nm以下的粒子、即小径粒子，
所述磨粒由二氧化硅构成。
2.根据权利要求1所述的多芯套圈用研磨材料，其中，所述小径粒子是峰值粒径为50nm以下的粒子。
3.根据权利要求1或2所述的多芯套圈用研磨材料，其中，所述磨粒含有峰值粒径为120nm以上的粒子。
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