[发明专利]检查治具以及检查装置

权利要求书

1.一种检查治具，其特征在于，包括：

大致棒状的探针，具有与检查对象物的检查点导通连接的一端部、与所述一端部相连的主体部、以及与所述主体部相连的另一端部；及

支撑部件，支撑所述探针，

所述探针具有卡止部，所述卡止部能够卡合脱离地卡止于所述支撑部件上所设置的抵接部，

所述卡止部构成为：在使用所述探针进行检查时，当在所述探针的轴向上作用有一定值以上的压缩载荷时，所述卡止部自所述抵接部脱离。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其特征在于，所述支撑部件具有支撑板，所述支撑板形成有供所述探针插通并予以支撑的支撑孔，

所述卡止部通过与包含所述支撑孔的周壁的所述抵接部抵接而卡止，且所述卡止部通过没入所述支撑孔内而解除与所述抵接部的卡合。

3.根据权利要求2所述的检查治具，其特征在于，所述支撑部件具有支撑所述探针的一端部的第一支撑板、支撑所述探针的另一端部的第二支撑板、以及支撑所述探针的主体部的第三支撑板，

所述抵接部包含形成于所述第三支撑板的第三支撑孔的周壁。

4.根据权利要求2或3所述的检查治具，其特征在于，所述卡止部是由使所述探针的一部分沿所述探针的径向突出而成的突部所构成。

5.根据权利要求4所述的检查治具，其特征在于，所述突部形成为具有卡止面及倾斜面的三角形状，所述卡止面沿所述探针的径向延伸，所述倾斜面自所述卡止面的前端朝向所述探针的一端部侧延伸且前端变窄，

所述卡止面通过与所述抵接部抵接而能够卡合脱离地卡止。

6.根据权利要求2或3所述的检查治具，其特征在于，所述探针具有径向尺寸大的大径部、以及径向尺寸小的小径部，

所述卡止部包含形成于所述大径部与所述小径部之间的台阶部。

7.根据权利要求6所述的检查治具，其特征在于，所述大径部包含形成于所述主体部的一部分的膨出部。

8.根据权利要求6所述的检查治具，其特征在于，所述大径部自所述主体部的轴向中间部开始连续形成至所述一端部，

所述小径部自所述主体部的轴向中间部开始连续形成至所述另一端部。

9.根据权利要求2或3所述的检查治具，其特征在于，所述探针具有使所述探针的轴向的一部分沿径向凹入的凹入部，

所述卡止部包含形成于所述凹入部与所述探针的周面之间的台阶部。

10.根据权利要求2或3所述的检查治具，其特征在于，所述探针具有使所述探针的轴向的一部分沿径向弯曲的弯曲部，

所述卡止部包含所述弯曲部。

11.一种检查装置，其特征在于，包括如权利要求1至10中任一项所述的检查治具，所述检查装置通过使支撑于所述检查治具的所述探针与所述检查对象物接触，来检查所述检查对象物。