[发明专利]角度滤光器及其制造方法

说明书

本描述涉及一种制造光学系统(20)的方法，该光学系统包括角度滤光器(22)，该角度滤光器包括第一和第二初级角度滤光器的堆叠。此方法包括通过第一初级角度滤光器暴露正性光敏树脂层(40)，以及去除所述层的暴露部分(46)以形成穿过所述层的孔(42)，被所述孔穿过的所述层形成第二初级角度滤光器。

本专利申请主张法国专利申请FR18/56709的优先权益，该申请在此纳入作为参考。

技术领域

本公开涉及角度滤光器及其制造方法。

背景技术

图像采集系统一般包括图像传感器和介于图像传感器的感光部分与待成像物体之间光学系统，该光学系统允许形成要在图像传感器的感光部分上成像的物体的清晰图像。该光学系统特别地包括多层透镜。

然而，在某些情况下，可能无法在图像传感器的感光部分与待成像物体之间放置这样的光学系统。当图像传感器占据较大的表面积(大于一平方厘米)，并且待成像物体与图像传感器的感光部分之间的距离小于一厘米时，情况尤其如此。

然后，必须将待成像物体放置在最靠近图像传感器的位置，以使在图像传感器的感光部分上形成的图像足够清晰。但是，物体与图像传感器之间可能存在一定距离，从而导致在图像传感器的感光部分上形成的图像的清晰度可能不足以用于某些应用，例如用于指纹的捕获。

为了在缺乏复杂光学系统的情况下增加由图像采集系统的图像传感器获取的图像的清晰度，可以用具有简单结构的光学系统覆盖图像传感器，该光学系统包括由具有穿孔的不透明膜形成的角度滤光器。但是，对于某些应用，为了实现正确的角度过滤，滤光器开口的长宽比，即膜厚度与每个开口的横向尺寸的比率应该大于1。

很难通过在工业规模中使用的有色材料(例如有色树脂)直接成型法实现这样的长宽比。

发明内容

实施例的目的是完全或部分地克服角度滤光器，以及先前描述的制造角度滤光器的方法的至少一部分缺点。

实施例的目的是一种制造包含开口的角度滤光器的方法，该角度滤光器能够使得开口深度与每个开口的横向尺寸的比率大于1。

实施例的另一目的是能够以工业规模实现角度滤光器制造方法。

为此，一个实施例提供了一种制造光学系统的方法，所述光学系统包括角度滤光器，所述角度滤光器包括第一和第二初级角度滤光器的堆叠，所述方法包括穿过所述第一初级角度滤光器暴露正性抗蚀剂的层，以及去除所述层的暴露部分以形成穿过所述层的孔，被所述孔穿过的所述层形成所述第二初级角度滤光器。

根据一个实施例，所述光学系统包括旨在接收第一辐射的表面，所述层对所述第一辐射不透明，所述角度滤光器被配置为阻挡相对于与所述表面正交的方向的入射大于阈值的所述第一辐射的光线，以及允许相对于与所述表面正交的方向的入射小于所述阈值的所述第一辐射的光线通过。

根据一个实施例，述曝光步骤包括穿过所述第一初级角度滤光器使所述层暴露于第二辐射，所述正性抗蚀剂对所述第二辐射光敏感。

根据一个实施例，所述第一辐射在可见光范围内和/或在红外光范围内。

根据一个实施例，每个第一和第二初级角度滤光器包括被孔穿过的层。

一个实施例还提供了一种光学系统，所述光学系统包括角度滤光器，所述角度滤光器包括第一和第二初级角度滤光器的堆叠，所述第二初级角度滤光器包括正性抗蚀剂的层和穿过所述层的孔。

根据一个实施例，所述系统包括旨在接收第一辐射的表面，所述层对所述第一辐射不透明，所述角度滤光器被配置为阻挡相对于与所述表面正交的方向的入射大于阈值的所述第一辐射的光线，以及允许相对于与所述表面正交的方向的入射小于所述阈值的所述第一辐射的光线通过。

根据一个实施例，所述正性抗蚀剂对所述第二辐射光敏感。