[发明专利]用于测量加热器基座上的基板的放置的方法和设备

权利要求书

1.一种确定传感器晶片相对于基座的位置的方法，包括以下步骤：

将所述传感器晶片放置于所述基座上，其中所述传感器晶片包括由所述基座支撑的第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、及将所述第一表面连接至所述第二表面的边缘表面，其中多个传感器区域形成于所述边缘表面上，且其中所述基座包括主要表面及环绕所述传感器晶片的环状壁；

确定所述多个传感器区域的每一者与所述环状壁之间的间隙距离；以及

从所述间隙距离确定所述传感器晶片的中心点相对于所述环状壁的中心点的中心点偏移。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述多个传感器区域包括自参照的电容性传感器。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述自参照的电容性传感器包括第一探测器及第二探测器，其中供应至所述第一探测器的电流的输出相位与供应至所述第二探测器的电流的输出相位偏移180度。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述传感器晶片进一步包括所述传感器区域的每一者下方的电场防护件。

5.如权利要求1所述的方法，其中凹部被形成到所述传感器晶片的所述第二表面中、接近所述传感器区域的每一者。

6.如权利要求1所述的方法，其中最大测量到的间隙距离小于1mm。

7.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

使用所述中心点偏移以在所述基座上放置后续晶片。

8.如权利要求7所述的方法，其中后续放置的晶片具有在所述环状壁的所述中心点的200μm内的中心点。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述多个传感器区域包括至少三个传感器区域。

10.一种放置控制器，包括：

传感器接口，其中所述传感器接口从传感器晶片接收传感器信息，所述传感器晶片包括沿着所述传感器晶片的边缘表面的多个面向外的传感器；及

中心点模块，其中所述中心点模块使用所述传感器信息以相对于加热基座的中心点确定所述传感器晶片的中心点，所述传感器晶片安置于所述加热基座上，且其中所述放置控制器经控制定位机器人以将所述传感器晶片放置于所述基座上。

11.如权利要求10所述的放置控制器，其中所述放置控制器产生位置偏移值，所述位置偏移值存储于数据库中。

12.如权利要求11所述的放置控制器，其中所述位置偏移值被用来在所述定位机器人将晶片放置于所述基座上时控制所述定位机器人。

13.如权利要求10所述的放置控制器，其中所述基座为加热器基座。

14.如权利要求10所述的放置控制器，其中所述传感器晶片的传感器为自参照的电容性传感器。

15.如权利要求10所述的放置控制器，其中所述多个面向外的传感器包括至少三个面向外的传感器。