[发明专利]压电器件

说明书

本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承，位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠，且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界，下侧变得比上侧窄。

技术领域

本发明涉及压电器件。

背景技术

作为公开了压电器件的结构的文献，有国际公开第2017/218299号(专利文献1)。在专利文献1记载的压电器件具备基板和薄膜部。基板具有贯通地形成的开口部。薄膜部由至少一个弹性层和夹在上部电极层与下部电极层之间的至少一个压电层形成。薄膜部在比开口部靠上方处安装在基板。在靠近开口部的端部的薄膜部中，通过进行蚀刻而形成有贯通槽。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/218299号

发明内容

发明要解决的课题

在具有包含多个层的薄膜部的压电器件中，存在由于在薄膜部内产生的应力而发生层间剥离的情况。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种能够抑制由在薄膜部内产生的应力造成的层间剥离的发生的压电器件。

用于解决课题的技术方案

基于本发明的压电器件具备基部和薄膜部。薄膜部被基部间接地支承，位于比基部靠上侧。薄膜部包含多个层。薄膜部与基部不重叠，且包含单晶压电体层、上部电极层、以及下部电极层。上部电极层配置在单晶压电体层的上侧。下部电极层配置为隔着单晶压电体层与上部电极层的至少一部分对置。在薄膜部设置有在上下方向上贯通的贯通槽。贯通槽在构成薄膜部的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部。贯通槽的宽度以第1台阶部为界，下侧变得比上侧窄。

发明效果

根据本发明，在具有包含多个层的薄膜部的压电器件中，能够抑制由在薄膜部内产生的应力造成的层间剥离的发生。

附图说明

图1是本发明的实施方式1涉及的压电器件的俯视图。

图2是从II-II线方向对图1的压电器件进行观察的剖视图。

图3是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中在单晶压电体层的下表面设置了密接层的状态的剖视图。

图4是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中在密接层以及单晶压电体层各自的下表面设置了下部电极层的状态的剖视图。

图5是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中在下部电极层以及单晶压电体层各自的下表面设置了中间层的状态的剖视图。

图6是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中使中间层的下表面平坦的状态的剖视图。

图7是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中使基部与图6所示的多个层接合的状态的剖视图。

图8是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中使基部与中间层的下表面接合的状态的剖视图。

图9是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中削去了单晶压电体层的上表面的状态的剖视图。

图10是示出在本发明的实施方式1涉及的压电器件的制造方法中在单晶压电体层的上表面设置了上部电极层的状态的剖视图。