[发明专利]用于修改支撑表面的工具

权利要求书

1.一种用于修改衬底保持器的衬底支撑元件的工具，所述衬底支撑元件具有用于支撑衬底的支撑表面，所述工具包括具有主体表面的主体，其中所述工具包括自所述主体表面的多个突出部，所述多个突出部具有被配置成接触所述支撑表面以修改所述衬底支撑元件的远端。

2.根据权利要求1所述的工具，其中相邻突出部之间的节距大于或等于大约5mm，或优选地大于或等于大约7mm，或更优选地大于或等于大约12mm。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的工具，其中所述多个突出部中的至少一个突出部具有大于或等于大约9mm²或更优选地大于或等于大约20mm²的截面积。

4.根据权利要求1所述的工具，其中所述多个突出部中的至少一个突出部的所述远端包括多个突起部，其中所述多个突起部中的相邻突起部之间的距离在大约50nm至1mm之间。

5.根据权利要求4所述的工具，其中所述多个突起部从所述远端延伸大约50nm至1mm之间。

6.根据权利要求1所述的工具，其中所述多个突出部中的相邻突出部之间的距离在大约50nm至1mm之间。

7.根据权利要求6所述的工具，其中所述远端与所述主体表面3之间的距离在大约50nm至1mm之间。

8.根据权利要求1、2、4或6所述的工具，其中所述主体是板状的。

9.根据权利要求8所述的工具，其中所述主体的直径小于或等于大约50mm，或优选地小于或等于大约35mm。

10.根据权利要求1、2、4或6所述的工具，其中所述工具不包括通孔。

11.根据权利要求1、2、4或6所述的工具，其中所述主体表面基本上平坦。

12.根据权利要求1、2、4或6所述的工具，其中所述工具包括渗硅碳化硅、碳化硅、氧化铝和/或类金刚石碳。

13.一种用于修改衬底保持器的衬底支撑元件的方法，所述衬底支撑元件具有用于支撑衬底的支撑表面，所述方法包括：

提供根据权利要求1至12中任一项所述的工具；

使所述支撑表面中的至少一些支撑表面与所述工具的所述突出部的所述远端接触，并使用所述工具来修改所述支撑表面。

14.一种光刻设备，包括：

衬底保持器，具有多个支撑元件，所述多个支撑元件被配置成支撑衬底；

材料去除装置，被配置成修改所述衬底保持器的所述衬底支撑元件，所述材料去除装置具有根据权利要求1至12中任一项所述的用于修改所述衬底保持器的所述衬底支撑元件的工具。

15.根据权利要求14所述的光刻设备，还包括：

检测器，被配置成检测所述支撑元件中的影响被支撑在所述衬底保持器上的所述衬底的表面平坦度的一个或多个支撑元件的高度偏差，其中所述工具被配置成修改与所述支撑元件的所检测的高度偏差相对应的所述一个或多个支撑元件的高度。

16.一种用于修改衬底保持器的衬底支撑元件的方法，所述衬底支撑元件具有用于支撑衬底的支撑表面，所述方法包括：

提供根据权利要求14至15中任一项所述的光刻设备；

使所述支撑表面中的至少一些支撑表面与所述工具的所述突出部的所述远端接触，并使用所述工具来修改所述支撑表面。