[发明专利]陶瓷加热器

说明书

陶瓷加热器(10)具备内置有外周侧电阻发热体(24)的陶瓷板(20)、以及利用前端的测温部(50a)测定外周侧区域(Z2)的温度的外周侧热电偶(50)。外周侧电阻发热体(24)从设置于陶瓷板(20)的中央部的一对端子(24a、24b)的一方伸出至圆环状的外周侧区域(Z2)，在外周侧区域(Z2)中在多个折回部(24c)折回并布线之后，到达一对端子(24a、24b)的另一方。测温部(50a)配置于外周侧区域(Z2)中除了外周侧电阻发热体(24)的折回部(24c)彼此相对的部分(25)以外的位置。

技术领域

本发明涉及一种陶瓷加热器。

背景技术

一直以来，作为陶瓷加热器，已知在具有晶片载置面的圆盘状陶瓷板的内周侧和外周侧各自独立地埋入有电阻发热体的被称为双区加热器的陶瓷加热器(例如专利文献1)。具体而言，将陶瓷板的内周侧的温度用内周侧热电偶进行测定，并且将外周侧的温度用外周侧热电偶进行测定，控制来自各电阻发热体的发热以使陶瓷板的整体成为目标温度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5501467号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在专利文献1中，有时通过外周侧热电偶测得的温度与实际的外周侧的温度不一致。

本发明是为了解决这样的课题而提出的，其主要目的在于精度良好地测定外周侧区域的温度。

用于解决课题的方法

本发明的陶瓷加热器具备：

圆盘状的陶瓷板，其具有晶片载置面；

外周侧电阻发热体，其内置于上述陶瓷板，且形状为从设置于上述陶瓷板的中央部的一对端子的一方伸出至上述陶瓷板的圆环状的外周侧区域，在上述外周侧区域中在多个折回部折回并布线之后，到达上述一对端子的另一方；以及

外周侧热电偶，其利用前端的测温部测定上述外周侧区域的温度，

从上述晶片载置面观察上述陶瓷板时，上述测温部配置于上述外周侧区域中除了上述外周侧电阻发热体的上述折回部彼此相对的部分以外的位置。

该陶瓷加热器中，在外周侧区域中外周侧电阻发热体的折回部彼此相对的部分由于不存在外周侧电阻发热体，因此易于成为特异点。因此，本发明中，在外周侧区域中除了该特异点以外的位置配置外周侧热电偶的测温部。由此，外周侧热电偶的测温部能够精度良好地测定外周侧区域的温度。

在本发明的陶瓷加热器中，上述外周侧区域可以通过将上述陶瓷板的中心与上述外周侧电阻发热体的多个上述折回部分别连结的线段而分割成多个扇区域，配置上述测温部的位置设置于上述扇区域内。这样的扇区域内更难以受到特异点的影响。因此，外周侧热电偶的测温部能够精度更良好地测定外周侧区域的温度。

在本发明的陶瓷加热器中，从上述晶片载置面观察上述陶瓷板时，配置上述测温部的位置可以设置于上述外周侧电阻发热体的宽度中。这样的话，能够利用外周侧热电偶的测温部响应良好地检测外周侧电阻发热体的温度变化。另外，所谓“外周侧电阻发热体的宽度中”，例如在外周侧电阻发热体为线圈形状的情况下，是指该线圈的宽度中，在外周侧电阻发热体为面状的情况下，是指该面中，在外周侧电阻发热体为网眼形状的情况下，是指该网眼的线料的宽度中。