[发明专利]减少粒子产生的气体扩散器支撑结构

权利要求书

1.一种用于真空腔室的气体扩散器支撑结构，所述气体扩散器支撑结构包括：

背板；

中心通孔，所述中心通孔形成在所述背板中；

十字形结构，所述十字形结构形成在所述背板的材料中并定位于所述中心通孔的底部；及

气体偏转器，由单一固定件耦接至所述十字形结构，所述单一固定件耦接至形成在所述十字形结构中的螺孔。

2.如权利要求1所述的气体扩散器支撑结构，其中所述十字形结构包括多个轮辐。

3.如权利要求2所述的气体扩散器支撑结构，其中在所述轮辐之间形成开口。

4.如权利要求3所述的气体扩散器支撑结构，其中所述开口包括约7平方英寸的开口面积。

5.如权利要求2所述的气体扩散器支撑结构，其中所述轮辐中的每一个相交于运转中心。

6.如权利要求5所述的气体扩散器支撑结构，其中所述运转中心定位在所述背板的几何中心。

7.如权利要求5所述的气体扩散器支撑结构，其中所述单一固定件耦接至位于所述运转中心处的所述螺孔。

8.如权利要求2所述的气体扩散器支撑结构，其中所述多个轮辐以90度间隔定位。

9.一种用于真空腔室的气体扩散器支撑结构，所述气体扩散器支撑结构包括：

背板，具有中心通孔，所述中心通孔形成在所述背板中；及

整合十字形结构，形成于所述中心通孔的底部中，其中所述十字形结构包括多个轮辐，所述多个轮辐分隔多个开口，并且在所述十字形结构中的运转中心中形成有螺孔，所述多个轮辐的每一个的相交于所述运转中心中。

10.如权利要求9所述的气体扩散器支撑结构，其中所述多个轮辐以90度间隔定位。

11.如权利要求9所述的气体扩散器支撑结构，其中所述多个开口包括约7平方英寸的开口面积。

12.如权利要求9所述的气体扩散器支撑结构，其中所述运转中心定位在所述背板的几何中心。

13.如权利要求9所述的气体扩散器支撑结构，进一步包括：

气体偏转器，由设置在所述螺孔中的单一固定件耦接至所述十字形结构。

14.如权利要求13所述的气体扩散器支撑结构，其中所述单一固定件在所述背板的几何中心处耦接至所述十字形结构。

15.一种用于真空腔室的气体扩散器支撑结构，所述气体扩散器支撑结构包括：

背板，所述背板具有形成在所述背板中的中心通孔；

十字形结构，所述十字形结构定位于所述中心通孔中，其中所述十字形结构包括由所述背板的材料制成的多个轮辐，所述多个轮辐分隔多个开口，所述多个开口与所述中心通孔流体连通；及

气体偏转器，由单一螺纹固定件耦接至所述十字形结构。

16.如权利要求15所述的气体扩散器支撑结构，其中所述轮辐中的每一个相交于运转中心。

17.如权利要求16所述的气体扩散器支撑结构，其中所述运转中心定位在所述背板的几何中心。

18.如权利要求16所述的气体扩散器支撑结构，其中所述单一固定件耦接至形成在所述运转中心中的螺孔。

19.如权利要求15所述的气体扩散器支撑结构，其中所述多个轮辐以90度间隔定位。