[发明专利]非接触式的清洁模块

权利要求书

1.一种清洁模块，包含：

晶片夹持装置，被配置为在垂直定向上支撑晶片，所述晶片夹持装置包含：

接取杯，包含具有环形内表面的壁，其中所述环形内表面限定处理区域并且所述环形内表面具有成角度部分，所述成角度部分关于所述晶片夹持装置的中心轴对称；

夹持器组件，被配置为定位在装载位置、冲洗位置和清洁位置中的至少一个中，其中所述夹持器组件的所述清洁位置被设置在所述处理区域内，所述夹持器组件包含：

第一板组件；

第二板组件；

所述第二板组件的夹持销，其中当所述夹持器组件处于所述装载位置时，所述夹持销与所述夹持器组件的中心相距第一距离，并且当所述夹持器组件处于所述清洁位置时，所述夹持销与所述晶片夹持装置的所述中心轴相距第二距离，所述第一距离大于所述第二距离；以及

所述第一板组件的装载销，其中当所述夹持器组件处于所述装载位置和所述清洁位置时，所述装载销与所述中心轴相距第三距离。

2.如权利要求1所述的清洁模块，其中当所述夹持器组件设置在所述清洁位置中时，所述晶片的边缘与所述夹持销接触，并且所述晶片不与所述装载销接触，其中所述夹持销被配置为接触所述晶片的所述边缘以减少在清洁工艺期间对所述晶片的干扰。

3.如权利要求2所述的清洁模块，其中当所述夹持器组件设置在所述装载位置中时，装载销与所述晶片的所述边缘接触并且被配置为减少在清洁工艺期间由所述装载销对所述晶片的干扰。

4.如权利要求1所述的清洁模块，进一步包含与所述接取杯间隔开的外壳壁，其中内部区域限定在所述外壳壁与所述接取杯之间。

5.如权利要求4所述的清洁模块，其中所述第一板组件：

当所述夹持器组件处于所述装载位置时，至少部分定位在所述内部区域内并且与所述第二板组件间隔开；并且

当所述夹持器组件处于所述清洁位置时，至少部分接触所述第二板组件。

6.如权利要求1所述的清洁模块，其中所述第二板组件通过一个或多个弹簧机构耦接到所述接取杯，并且其中当所述夹持器组件处于所述清洁位置时，压缩所述一个或多个弹簧机构。

7.如权利要求1所述的清洁模块，其中：

所述接取杯进一步包含致动器销；并且

所述夹持销耦接到致动器组件，所述致动器组件被配置为：

当所述夹持器组件处于所述清洁位置时，与所述致动器销接合并且将所述夹持销定位在所述清洁位置中；以及

当所述夹持器组件处于所述装载位置时，从所述致动器销脱离并且将所述夹持销定位在所述装载位置中。

8.如权利要求1所述的清洁模块，其中所述接取杯进一步包含：

一个或多个排泄孔，其中所述环形内表面被配置为随着所述接取杯绕着所述中心轴旋转而将水分引导到所述一个或多个排泄孔。

9.如权利要求8所述的清洁模块，其中所述一个或多个排泄孔中的每一个穿过相应空气迷宫流体耦接到所述清洁模块的内部区域，所述空气迷宫经成形为缓解水分流动到所述内部区域中。

10.如权利要求9所述的清洁模块，其中所述一个或多个排泄孔中的每一个包含第一壁和第二壁，其中所述第一壁远离所述第二壁渐缩。

11.如权利要求1所述的清洁模块，进一步包含耦接到所述第二板组件和所述接取杯的波纹管。

12.如权利要求1所述的清洁模块，进一步包含：

喷嘴机构，耦接到吹扫臂，所述喷嘴机构包含：

第一喷嘴，与所述第一板组件的表面呈第一角度定向并且被配置为提供高能流体；以及

第二喷嘴，与所述第一板组件的所述表面呈第二角度定向，其中所述第二角度与所述第一角度不同。