[发明专利]致动器的感测装置以及致动器的控制系统

权利要求书

1.一种致动器的感测装置，其是应用于致动器的感测装置，所述致动器具备：轴，所述轴能够沿轴向移动，且至少在所述轴的前端部侧具有通过使所述轴的内部成为中空而形成的中空部；以及外壳，所述外壳以所述轴的前端部侧向外部突出的方式收容所述轴的一部分，所述致动器通过在所述中空部产生负压而使工件吸附于所述轴的前端部，并将所述工件拾起，其中，

所述致动器的感测装置具备：

空气通路，其是配置于在所述外壳 的外部设置的泵与所述中空部之间的所述外壳内的通路，且是在使所述轴的所述中空部为负压时供通过所述泵从所述中空部吸出的空气流通的通路；

阀装置，其设置于所述外壳内的所述空气通路的中途，用于阻断或允许从所述中空部吸出的空气的流动；

压力传感器，其设置于所述外壳内的所述阀装置与所述中空部之间的所述空气通路的中途，且对所述空气通路内的压力进行检测；以及

流量传感器，其设置于所述外壳内的所述中空部与所述压力传感器之间的所述空气通路的中途，且对在所述空气通路中流动的空气的流量进行检测。

2.一种致动器的控制系统，所述致动器具备权利要求1所述的感测装置，其中，

所述致动器的控制系统具备控制装置，所述控制装置在由所述流量传感器检测出的流量减少到规定流量以下时、和/或由所述压力传感器检测出的压力降低到规定压力以下时，使所述轴向轴向上侧移动，从而进行所述工件的拾起。

3.一种致动器的控制系统，所述致动器具备权利要求1所述的感测装置，其中，

所述致动器的控制系统具备控制装置，所述控制装置在使所述轴沿轴向从所述轴的前端部与所述工件分离的位置朝向所述轴的前端部与所述工件接触的位置移动的情况下，控制所述阀装置，以使得在所述轴的前端部与所述工件接触前的时刻、且设定为在所述轴的前端部与所述工件接触时所述流量传感器或者所述压力传感器中的任一方的检测值开始变化的时刻，将从所述中空部吸出的空气的流动从阻断状态变更为允许状态。