[发明专利]致动器的感测装置以及致动器的控制系统

说明书

本申请提供一种致动器的感测装置，其是应用于致动器的感测装置，所述致动器具备轴，所述轴能够沿轴向移动，且至少在所述轴的前端部侧具有通过使所述轴的内部成为中空而形成的中空部，所述致动器通过在所述中空部产生负压而使工件吸附于该轴的前端部，并将该工件拾起。该感测装置具备：流量传感器，其设置于空气通路的中途，且对在该空气通路流动的空气的流量进行检测，所述空气通路是在使中空部为负压时供从该中空部吸出的空气流通的通路；以及压力传感器，其设置于空气通路的中途，且对该空气通路内的压力进行检测。

技术领域

本发明涉及致动器的感测装置以及致动器的控制系统。

背景技术

作为进行工件的拾起和放置的致动器，已知有如下致动器：在使中空的轴的前端部与工件接触的状态下，通过使轴内为负压，而使工件吸附在轴的前端部(例如，参照专利文献1。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－164347号公报

发明内容

发明要解决的课题

在利用上述以往技术那样的致动器来拾起工件的情况下，若没有将工件适当吸附在轴的前端部，则有可能产生在使工件从拾起位置向放置位置移动的中途使该工件落下等不良状况。因而，在进行工件的拾起的情况下，需要判定是否将工件适当吸附在了轴的前端部。

在此，作为判定是否将工件适当吸附在了轴的前端部的方法，考虑如下方法：将检测轴内的压力的压力传感器安装于致动器，基于开始吸引轴内的空气后的压力传感器的检测值，来判定工件是否吸附在了轴的前端部。

然而，在进行比较的小型的工件的拾起的情况下，有可能在轴的前端部装配口径比较小的吸附嘴。在那样的情况下，在吸附嘴吸附有工件的状态与没有吸附的状态下的轴内的压力差容易变小，因此有可能难以精度良好地判定是否将工件适当吸附在了吸附嘴。

本发明是鉴于上述那样的实际情况而完成的，其目的在于，提供在适宜进行多种大量的工件的吸附判定方面有效的技术。

用于解决课题的方案

本申请提供一种致动器的感测装置，其是应用于致动器的感测装置，所述致动器具备轴，所述轴能够沿轴向移动，且至少在所述轴的前端部侧具有通过使所述轴的内部成为中空而形成的中空部，所述致动器通过在所述中空部产生负压而使工件吸附于该轴的前端部，并将该工件拾起。该感测装置具备：流量传感器，其设置于空气通路的中途，且对在该空气通路流动的空气的流量进行检测，所述空气通路是在使所述轴的所述中空部为负压时供从该中空部吸出的空气流通的通路；以及压力传感器，其设置于所述空气通路的中途，且对该空气通路内的压力进行检测。

发明效果

根据本发明，能够提供在适宜进行多种大量的工件的吸附判定方面有效的技术。

附图说明

图1是实施方式的致动器的外观图。

图2是示出实施方式的致动器的内部构造的概要结构图。

图3是示出实施方式的轴外壳和轴的前端部的概要结构的剖视图。

图4是示出在变形例中进行工件W的拾起时的致动器的动作的流程图。

具体实施方式

在应用本发明的感测装置的致动器中，轴能够沿轴向移动。另外，在轴的前端部通过使其内部成为中空而形成有中空部。在中空部连通有空气通路，通过将该中空部的空气经由所述空气通路吸出，能够在轴的前端部产生负压。根据这样的致动器，通过在使轴的前端部与工件接触的状态下在该前端部产生负压，能够使工件吸附于该前端部。并且，若在使工件吸附于轴的前端部的状态下使该轴向轴向上侧移动，则能够进行工件的拾起。