[发明专利]谐振装置

权利要求书

1.一种谐振装置，

具备：下盖；上盖，与所述下盖接合；以及谐振子，具有振动臂，所述振动臂在形成于所述下盖与所述上盖之间的振动空间弯曲振动，

在所述振动臂的前端部附着粒子，

在将所述粒子的中位径设为D50，将所述粒子的比重设为A，将所述谐振子的谐振频率设为X时，

满足

2.根据权利要求1所述的谐振装置，其中，

在所述下盖和所述上盖分别设置有凹部，所述凹部形成所述振动空间，

所述下盖和所述上盖各自的所述凹部的深度为100μm以下。

3.根据权利要求2所述的谐振装置，其中，

满足

4.根据权利要求3所述的谐振装置，其中，

满足

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的谐振装置，其中，

所述振动臂在所述下盖侧以及所述上盖侧的至少一方具有氧化硅膜。

6.根据权利要求5所述的谐振装置，其中，

所述粒子为硅氧化物。

7.根据权利要求5或6所述的谐振装置，其中，

在将所述氧化硅膜的厚度设为T时，满足T≤116/X。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的谐振装置，其中，

所述振动臂的所述前端部的角是R形状。