[发明专利]谐振装置

说明书

本发明涉及谐振装置。谐振装置(1)具备：下盖(20)；上盖(30)，与下盖(20)接合；以及谐振子(10)，具有在形成于下盖(20)与上盖(30)之间的振动空间弯曲振动的振动臂(121A～D)，在振动臂(121A～D)的前端部(122A～D)附着粒子(9)。在将粒子(9)的中位径设为D50，将粒子(9)的比重设为A，将谐振子(10)的谐振频率设为X时，满足

技术领域

本发明涉及谐振装置。

背景技术

在智能手机等电子设备中，例如组装有谐振装置作为定时设备，该谐振装置是一种MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)。这样的谐振装置例如具备：下侧基板、在与下侧基板之间形成空腔的上侧基板、在下侧基板与上侧基板之间配置于空腔内的谐振子。

以往，谐振装置的制造方法包含调整谐振子的谐振频率的工序。例如在专利文献1中公开了一种谐振装置的制造方法，包含通过使弯曲振动的振动臂激励，使该振动臂的一部分与下盖以及上盖的至少一方碰撞，从而调整谐振子的频率的工序，能够不损害谐振子的压电性而进行谐振频率的调整。

专利文献1：国际公开第2017/212677号

然而，在专利文献1所记载的制造方法中，在频率调整工序中由于振动臂与上盖或下盖的碰撞，从振动臂刮掉的粒子附着于振动臂。若在谐振子的振动中附着的粒子从振动臂脱落，则谐振子的谐振频率变动。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制谐振频率的变动的谐振装置。

本发明的一个方式所涉及的谐振装置具备：下盖；上盖，与下盖接合；以及谐振子，具有振动臂，该振动臂在形成于下盖与上盖之间的振动空间弯曲振动，在振动臂的前端部附着粒子，在将粒子的中位径设为D50、将粒子的比重设为A、将谐振子的谐振频率设为X时，满足D50≤189/

根据本发明，能够提供可抑制谐振频率的变动的谐振装置。

附图说明

图1是简要表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是简要表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。

图3是简要表示本发明的实施方式所涉及的谐振子的构造的俯视图。

图4是表示本发明的实施方式所涉及的振动臂的前端的样子的照片。

图5是简要表示图1所示的谐振装置的沿着X轴的截面的图。

图6是简要表示图1所示的谐振装置的动作时的沿着Y轴的截面的图。

图7是表示附着于振动臂的前端的粒子的粒径分布的图表。

图8是表示以振幅10μm激励时施加于粒子的范德瓦尔斯力和惯性力平衡的条件的图表。

图9是表示以振幅100μm激励时施加于粒子的范德瓦尔斯力和惯性力平衡的条件的图表。

具体实施方式

以下，参照附图并对本发明的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中，由相同或类似的附图标记表示相同或类似的构成要素。附图是例示的，各部的尺寸、形状是示意性的，不应将本发明的技术范围限定于该实施方式来解释。

＜实施方式＞

首先，参照图1和图2并对本发明的实施方式所涉及的谐振装置1的结构进行说明。图1是简要表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。图2是简要表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。

(谐振装置1)