[发明专利]固体摄像装置和电子设备在审
申请号: | 201980052169.2 | 申请日: | 2019-07-12 |
公开(公告)号: | CN112543998A | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 蛯子芳树 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/33 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 姚鹏;曹正建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 装置 电子设备 | ||
1.一种固体摄像装置,包括:
基板;
第一光电转换单元,所述第一光电转换单元形成在所述基板上;
第二光电转换单元,所述第二光电转换单元形成在所述基板上并且与所述第一光电转换单元相邻;
第三光电转换单元,所述第三光电转换单元形成在所述基板上并且与所述第二光电转换单元相邻;
红外吸收滤波器,所述红外吸收滤波器选择性地布置在所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元的光入射表面侧;
第一滤色器,所述第一滤色器布置在所述第一光电转换单元的所述光入射表面侧;
第二滤色器,所述第二滤色器布置在所述第二光电转换单元的所述光入射表面侧;
第三滤色器,所述第三滤色器布置在所述第三光电转换单元的所述光入射表面侧;
第一元件隔离单元,所述第一元件隔离单元布置在所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元之间;和
第二元件隔离单元,所述第二元件隔离单元布置在所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元之间,其中,
所述第一元件隔离单元的沿着所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元排列的方向的横截面积大于所述第二元件隔离单元的沿着所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元排列的方向的横截面积。
2.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
所述第一元件隔离单元的深度浅于所述第一元件隔离单元的深度。
3.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
所述第一元件隔离单元的宽度窄于所述第一元件隔离单元的宽度。
4.根据权利要求3所述的固体摄像装置,其中,
构成所述第一元件隔离单元的组件的数量小于构成所述第二元件隔离单元的组件的数量。
5.根据权利要求4所述的固体摄像装置,其中,
所述第一元件隔离单元包括第一绝缘膜,所述第一绝缘膜埋入在形成于所述基板中的第一凹槽部中,并且,
所述第二元件隔离单元包括第二绝缘膜和遮光膜,所述第二绝缘膜埋入在形成于所述基板中的第二凹槽部中,所述遮光膜隔着所述第二绝缘膜埋入在所述第二凹槽部中。
6.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
所述第一元件隔离单元包括第一绝缘膜,所述第一绝缘膜埋入在形成于所述基板中的第一凹槽部中,并且,
所述第二元件隔离单元包括第二绝缘膜,所述第二绝缘膜埋入在形成于所述基板中的第二凹槽部中。
7.根据权利要求3所述的固体摄像装置,其中,
以相等的间距布置所述第一光电转换单元、所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元,并且
所述第一光电转换单元的开口面积和所述第二光电转换单元的开口面积均大于所述第三光电转换单元的开口面积。
8.根据权利要求3所述的固体摄像装置,其中,
以不同于布置所述第三光电转换单元的间距布置所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元,并且
所述第一光电转换单元的开口面积和所述第二光电转换单元的的开口面积小于所述第三光电转换单元的开口面积。
9.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
所述第一滤色器和所述第二滤色器分别具有红色、蓝色和绿色之一的互不相同的透射带。
10.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
所述第三滤色器通过堆叠具有红色透射带的滤色器和具有蓝色透射带的滤色器而形成。
11.根据权利要求1所述的固体摄像装置,其中,
光经由具有用于可见光和近红外光的透射带的双通滤波器进入所述第一光电转换单元、所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元。
12.一种电子设备,包括固体摄像装置、光学透镜和信号处理电路,
所述固体摄像装置包括:
基板,
第一光电转换单元,所述第一光电转换单元形成在所述基板上,
第二光电转换单元,所述第二光电转换单元形成在所述基板上并且与所述第一光电转换单元相邻,
第三光电转换单元,所述第三光电转换单元形成在所述基板上并且与所述第二光电转换单元相邻,
红外吸收滤波器,所述红外吸收滤波器选择性地布置在所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元的光入射表面侧,
第一滤色器,所述第一滤色器布置在所述第一光电转换单元的所述光入射表面侧,
第二滤色器,所述第二滤色器布置在所述第二光电转换单元的所述光入射表面侧,
第三滤色器,所述第三滤色器布置在所述第三光电转换单元的所述光入射表面侧,
第一元件隔离单元,所述第一元件隔离单元布置在所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元之间,和
第二元件隔离单元,所述第二元件隔离单元布置在所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元之间;
所述光学透镜将来自被摄体的光的图像形成到所述固体摄像装置的成像表面上;
所述信号处理电路对从所述固体摄像装置输出的信号执行信号处理,其中,
所述第一元件隔离单元的沿着所述第一光电转换单元和所述第二光电转换单元排列的方向的横截面积大于所述第二元件隔离单元的沿着所述第二光电转换单元和所述第三光电转换单元排列的方向的横截面积。
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