[发明专利]绘制装置和绘制方法在审
申请号: | 201980053167.5 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN112566730A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 三根阳介;宫崎一仁 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/10;B05C13/02;B05D1/26;B05D3/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;刘芃茜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 绘制 装置 方法 | ||
1.一种绘制装置,其特征在于,包括:
从下方支承工件的多个支承部;
使所述支承部沿水平方向移动的移动部;
调节部,其对支承于所述支承部的所述工件从下方吹去空气来调节所述工件的浮起高度;和
绘制部,其对由所述调节部调节了所述浮起高度并以支承于所述支承部的方式移动的所述工件进行绘制,
所述调节部包括:
在所述支承部的移动方向上设置在比所述绘制部靠上游侧处的第1调节部;和
设置在所述绘制部的下方的、比所述第1调节部高精度地调节所述工件的浮起高度的第2调节部。
2.如权利要求1所述的绘制装置,其特征在于:
在所述第2调节部形成有可供所述支承部移动的槽。
3.如权利要求1或2所述的绘制装置,其特征在于:
所述移动部使支承由所述绘制部进行了绘制的所述工件的所述支承部在所述工件的面方向的、与所述移动方向正交的正交方向上移动,
所述绘制部对在所述正交方向上移动了的所述工件再次进行绘制。
4.如权利要求3所述的绘制装置,其特征在于:
还包括与所述正交方向上的所述支承部的移动相应地,使所述第2调节部在所述正交方向上移动的调节移动部。
5.如权利要求1~4中任一项所述的绘制装置,其特征在于:
所述调节部包括:
第3调节部,其在所述移动方向上设置在比所述第1调节部靠上游侧处,比所述第1调节部高精度地调节所述工件的浮起高度;和
附着物检测装置,其对被所述第3调节部吹去了所述空气的所述工件检测是否存在附着物。
6.如权利要求1~5中任一项所述的绘制装置,其特征在于:
还包括设置在所述调节部的上方的、检测所述绘制部的绘制状态的绘制状态检测装置。
7.如权利要求6所述的绘制装置,其特征在于:
所述绘制状态检测装置在由所述绘制部对所述工件的绘制结束,下一工件被运送至所述第1调节部时,检测所述绘制状态。
8.如权利要求1~7中任一项所述的绘制装置,其特征在于:
还包括设置在所述调节部的上方的、进行所述绘制部的闪喷的闪喷部。
9.如权利要求1~8中任一项所述的绘制装置,其特征在于:
所述绘制部包括沿与所述移动方向正交的正交方向配置的多个承载器,
所述多个承载器能够分别调整所述正交方向上的位置。
10.如权利要求9所述的绘制装置,其特征在于:
所述多个承载器能够分别调整功能液的释放时刻。
11.如权利要求1~10中任一项所述的绘制装置,其特征在于:
还包括测量部,其设置在与所述支承部的移动方向正交的水平方向上与运送所述工件的区域隔开的位置,测量从所述绘制部释放的液滴的重量。
12.如权利要求11所述的绘制装置,其特征在于:
所述绘制部包括多个承载器,所述多个承载器具有释放所述液滴的多个释放头,
所述测量部按每个所述承载器测量所述液滴的重量。
13.如权利要求12所述的绘制装置,其特征在于:
所述测量部具有多个天秤部,所述多个天秤部与所述释放头的数量对应地设置,测量释放的所述液滴的重量。
14.如权利要求13所述的绘制装置,其特征在于:
还包括在测量所述液滴的重量时,遮挡所述天秤部的开口的遮挡部。
15.如权利要求14所述的绘制装置,其特征在于:
所述遮挡部具有吸引并排出测量了重量的所述液滴的吸引部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社,未经东京毅力科创株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980053167.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:生物分子分析装置
- 下一篇:用于耐火合金部件的涂层