[发明专利]绘制装置和绘制方法

说明书

本发明的实施方式的绘制装置(1)包括多个支承部(51)、移动部(53)、调节部(30、31)和绘制部(32)。多个支承部(51)从下方支承工件。移动部(53)使支承部(51)沿水平方向移动。调节部(30、31)对支承于支承部(51)的工件从下方吹去空气来调节工件的浮起高度。绘制部(32)对工件进行绘制，该工件由调节部(30、31)调节了浮起高度并以支承于支承部(51)的方式移动。调节部(21、30、31、40)包括：在支承部(51)的移动方向上设置在比绘制部(32)靠上游侧处的第1调节部(30)；和设置在绘制部(32)的下方的、比第1调节部(30)高精度地调节工件的浮起高度的第2调节部(31)。

技术领域

本发明涉及绘制装置和绘制方法。

背景技术

专利文献1公开了对被运送的基片以喷墨方式涂敷涂敷液的液滴的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-49805号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供一种提高生产性的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的绘制装置包括多个支承部、移动部、调节部和绘制部。多个支承部从下方支承工件。移动部使支承部沿水平方向移动。调节部对支承于支承部的工件从下方吹去空气来调节上述工件的浮起高度。绘制部对工件进行绘制，该工件由调节部调节了浮起高度并以支承于支承部的方式移动。调节部包括：在支承部的移动方向上设置在比绘制部靠上游侧处的第1调节部；和设置在绘制部的下方的、比第1调节部高精度地调节工件的浮起高度的第2调节部。

发明效果

依照本发明，能够提高生产性。

附图说明

图1A是表示第1实施方式的绘制装置的概要结构的俯视图。

图1B是表示第1实施方式的绘制装置的概要结构的侧视图。

图2是表示第1实施方式的绘制部的一部分的概要结构的俯视图。

图3A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其1)。

图3B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其1)。

图4A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其2)。

图4B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其2)。

图5A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其3)。

图5B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其3)。

图6A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其4)。

图6B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其4)。

图7A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其5)。

图7B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其5)。

图8A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其6)。

图8B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其6)。

图9A是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其7)。

图9B是表示第1实施方式的绘制装置的绘制步骤的示意图(其7)。