[发明专利]处理化学液体的方法

权利要求书

1.一种处理化学液体的方法，包括：

提供包括至少一个过滤介质的系统，所述至少一个过滤介质选自过滤器、离子交换膜及离子吸附膜；

使用铁(Fe)及钙(Ca)含量被限制为约10十亿分率或小于10十亿分率的处置液体对所述系统实行处置工艺；以及

在所述处置工艺之后，用配置在设备中的所述系统处理所述化学液体。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在实行所述处置工艺之后，在所述设备中配置所述系统。

3.根据权利要求1所述的方法，其中在实行所述处置工艺之前，在所述设备中配置所述系统。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述处置工艺包括使所述处置液体通过包括所述至少一个过滤介质的所述系统。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述处置液体与所述化学液体中所包含的至少一种有机溶剂相同。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述处置工艺被实行一次或多次。

7.根据权利要求1所述的方法，其中对包括至少两个过滤介质的所述系统实行所述处置工艺，所述至少两个过滤介质选自所述过滤器、所述离子交换膜及所述离子吸附膜。

8.根据权利要求1所述的方法，其中对包括所述过滤器及所述离子交换膜或所述离子吸附膜中的一者的所述系统实行所述处置工艺。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个过滤介质包括孔径为50纳米或小于50纳米的聚四氟乙烯(PTFE)过滤器。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个过滤介质包括孔径为10纳米或小于10纳米的聚四氟乙烯(PTFE)过滤器。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述处置工艺的处置条件取决于所述至少一个第一过滤介质与所述处置液体的组合。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述处理所述化学液体包括纯化工艺。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述处置工艺包括在使所述处置液体通过包括所述至少一个过滤介质的所述系统之前，将所述至少一个过滤介质浸泡在与所述处置液体相同类型的液体中达至少约12小时到18小时的浸泡周期，且存在最多五个浸泡周期。

14.一种纯化化学液体的方法，包括：

提供包括至少一个第一过滤介质的第一纯化系统，所述至少一个第一过滤介质选自第一过滤器、第一离子交换膜及第一离子吸附膜；

用配置在生产设备中的所述第一纯化系统对所述化学液体实行纯化工艺；以及

在实行所述纯化工艺之前，将第一处置液体施加到所述至少一个第一过滤介质，其中所述第一处置液体中的铁(Fe)原子及钙(Ca)含量小于约10十亿分率。

15.根据权利要求14所述的方法，其中施加所述第一处置液体的步骤包括将所述第一处置液体冲洗到所述第一纯化系统中。

16.根据权利要求14所述的方法，更包括：

提供包括至少一个第二过滤介质的第二纯化系统，所述至少一个第二过滤介质选自第二过滤器、第二离子交换膜及第二离子吸附膜；以及

在实行所述纯化工艺之前，将第二处置液体施加到所述至少一个第二过滤介质，其中所述第二处置液体中的铁(Fe)及钙(Ca)含量小于约10十亿分率。

17.根据权利要求16所述的方法，其中施加所述第二处置液体的步骤包括将所述第二处置液体冲洗到所述第二纯化系统中。