[发明专利]板状部件的制造方法和层叠体在审
申请号: | 201980054256.1 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN112567539A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 国本知道;浅野秀树 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;G02B5/20 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 部件 制造 方法 层叠 | ||
提供一种能够抑制板状部件的形状不良且能够提高成品率的板状部件的制造方法。一种通过切割板状部件的母材(11)来制造多个板状部件的方法,其特征在于,包括:准备具有彼此相对的第一主面(11a)和第二主面(11b)的板状部件的母材(11)的工序;在板状部件的母材(11)的第一主面(11a)形成分割槽(12a、13a)的工序;在板状部件的母材(11)的第二主面(11b)粘贴支承膜(14)的工序;以覆盖板状部件的母材(11)的第一主面(11a)的方式粘贴粘附膜(17)的工序;和通过在板状部件的母材(11)上粘贴有粘附膜(17)的状态下,从支承膜(14)侧按压板状部件的母材(11)的形成有分割槽(12a、13a)的区域,来沿着分割槽(12a、13a)切割板状部件的母材(11)的切割工序。
技术领域
本发明涉及波长转换部件等板状部件的制造方法和该板状部件的制造方法中使用的层叠体。
背景技术
近年来,作为替代荧光灯和白炽灯的下一代光源,对使用LED或LD的发光器件等受到瞩目。作为这样的下一代光源的一个例子,公开有将出射蓝色光的LED与吸收来自LED的光的一部分将其转换为黄色光的波长转换部件组合而成的发光器件。该发光器件发出作为从LED出射且透射波长转换部件的蓝色光与从波长转换部件出射的黄色光的合成光的白色光。
作为波长转换部件的制造方法,有时采用通过将波长转换部件的母材单片化,一次性获得多个波长转换部件的方法。在下述的专利文献1中,作为这样的波长转换部件的制造方法的一个例子,记载有通过在波长转换部件的母材形成栅格状的图案的分割槽,沿分割槽进行切割而单片化,从而获得多个波长转换部件的方法。该单片化是通过在将波长转换部件的母材沿向栅格状的图案的一个方向延伸的分割槽切割后,沿向另一个方向延伸的分割槽切割来进行的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2018-097060号公报。
发明内容
发明所要解决的问题
在进行这样的波长转换部件等板状部件的母材的单片化时,产生以分割槽为起点、在板状部件的母材的厚度方向上延伸的裂纹,由此,板状部件的母材被割断。但是,有时会产生以分割槽为起点,向从上述厚度方向偏离的方向延伸的裂纹。因此,具有在被单片化后的板状部件产生毛刺等形状不良的情况。
本发明的目的在于提供一种能够抑制板状部件的形状不良且能够提高成品率的板状部件的制造方法和该板状部件的制造方法中使所用的层叠体。
用于解决问题的技术手段
本发明的板状部件的制造方法是通过切割板状部件的母材来制造多个板状部件的方法,其特征在于,包括:准备具有彼此相对的第一主面和第二主面的板状部件的母材的工序;在板状部件的母材的第一主面形成分割槽的工序;在板状部件的母材的第二主面粘贴支承膜的工序;以覆盖板状部件的母材的第一主面的方式粘贴粘附膜的工序;和通过在板状部件的母材上粘贴有粘附膜的状态下,从支承膜侧按压板状部件的母材的形成有分割槽的区域,来沿着分割槽切割板状部件的母材的切割工序。
优选分割槽是相互交叉的第一分割槽和第二分割槽,切割工序具有:沿着第一分割槽切割板状部件的母材的第一切割工序;和在第一切割工序之后沿着第二分割槽切割板状部件的母材的第二切割工序。在这种情况下,优选第一分割槽与第二分割槽正交。
优选在切割工序中,通过使用与板状部件的母材的第一主面平行且呈直线状地延伸的按压部件,从支承膜侧按压板状部件的母材,来沿着分割槽切割板状部件的母材。在这种情况下,优选在切割工序中,在使用具有狭缝的支承部件从粘附膜侧支承板状部件的母材的状态下,使用按压部件从支承膜侧按压板状部件的母材,并使用支承部件和按压部件夹压板状部件的母材,由此来沿着分割槽切割板状部件的母材。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本电气硝子株式会社,未经日本电气硝子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980054256.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:气体保护金属极电弧焊用实心焊丝
- 下一篇:显微镜设备