[发明专利]检查治具、检查装置以及接触端子在审
申请号: | 201980055060.4 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN112601965A | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 太田宪宏;金锡贵 | 申请(专利权)人: | 日本电产理德股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 装置 以及 接触 端子 | ||
1.一种检查治具,包括接触端子及支撑所述接触端子的支撑构件,其特征在于,
所述接触端子包括由具有导电性的原材料形成为筒状的筒状体、与由具有导电性的原材料形成为棒状的第一中心导体及第二中心导体,
所述第一中心导体具有插通至所述筒状体的一端部的第一棒状本体,
所述第二中心导体具有插通至所述筒状体的另一端部的第二棒状本体,
所述筒状体具有:弹簧部,包含通过沿着所述筒状体的周面设置有螺旋槽而构成的螺旋状体;以及未设置所述螺旋槽的主体部,
在所述筒状体的一端侧形成有第一弹簧部,在另一端侧形成有第二弹簧部,在所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间形成有所述主体部,
所述主体部的外周面由所述支撑构件中的支撑部支撑,
当对所述筒状体沿其轴向施加检查所需的负荷时,所述第一棒状本体的插通侧端部及所述第二棒状本体的插通侧端部位于所述主体部的内周侧,所述第一棒状本体的所述插通侧端部位于,相较于支撑所述主体部的所述支撑构件中的所述支撑部的一端,更靠所述筒状体的另一端侧,所述第二棒状本体的所述插通侧端部位于,相较于所述支撑部的另一端,更靠所述筒状体的一端侧,所述主体部位于所述支撑部所处的整个部分,
所述第一弹簧部及第二弹簧部中的至少一者的轴向中央部的外周面与所述支撑构件之间的径向距离大于所述主体部与所述支撑部之间的距离。
2.根据权利要求1所述的检查治具,其特征在于,当对所述筒状体沿其轴向施加检查所需的负荷时,所述支撑构件中的所述支撑部形成于所述主体部所处的整个部分。
3.根据权利要求1或2所述的检查治具,其特征在于,所述筒状体包括所述第一弹簧部、所述第二弹簧部、形成于所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间的多个所述主体部以及形成于多个所述主体部之间的其他弹簧部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查治具,其特征在于,在未对所述筒状体施加轴向负荷的状态下,所述第一棒状本体的所述插通侧端部及所述第二棒状本体的所述插通侧端部位于所述主体部的内周侧。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查治具,其特征在于,
所述第一弹簧部与所述第二弹簧部形成为相同长度,
所述第一棒状本体与所述第二棒状本体形成为相同长度。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查治具,其特征在于,所述筒状体形成为在轴向的中央部具有对称轴的对称形状。
7.一种检查装置,其特征在于,包括:
如权利要求1至6中任一项所述的检查治具;以及
检查处理部,根据通过使所述接触端子与设置于检查对象上的被检查点接触而获得的电信号,进行所述检查对象的检查。
8.一种接触端子,其特征在于,由检查治具的支撑构件支撑,且
包括由具有导电性的原材料形成为筒状的筒状体、与由具有导电性的原材料形成为棒状的第一中心导体及第二中心导体,
所述第一中心导体具有插通至所述筒状体的一端部的第一棒状本体,
所述第二中心导体具有插通至所述筒状体的另一端部的第二棒状本体,
所述筒状体具有:弹簧部,包含通过沿着所述筒状体的周面设置有螺旋槽而构成的螺旋状体;以及未设置所述螺旋槽的主体部,
在所述筒状体的一端侧形成有第一弹簧部,在另一端侧形成有第二弹簧部,在所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间形成有所述主体部,
所述主体部的外周面由所述支撑构件中的支撑部支撑,
当对所述筒状体沿其轴向施加检查所需的负荷时,所述第一棒状本体的插通侧端部及所述第二棒状本体的插通侧端部位于所述主体部的内周侧,所述第一棒状本体的所述插通侧端部位于,相较于支撑所述主体部的所述支撑构件中的所述支撑部的一端,更靠所述筒状体的另一端侧,所述第二棒状本体的所述插通侧端部位于,相较于所述支撑部的另一端,更靠所述筒状体的一端侧,所述主体部位于所述支撑部所处的整个部分,
所述第一弹簧部及第二弹簧部中的至少一者的轴向中央部的外周面与所述支撑构件之间的径向距离大于所述主体部与所述支撑部之间的距离。
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