[发明专利]检查治具、检查装置以及接触端子

说明书

当对筒状体23沿其轴向施加检查所需的负荷时，第一棒状本体21A的端部21D及第二棒状本体22A的端部22D位于主体部23B的内周侧，第一棒状本体21A的端部21D位于，相较于支撑主体部23B的支撑构件31中的支撑部32B的一端，更靠筒状体23的另一端侧，第二棒状本体22A的端部22D位于，相较于支撑部32B的另一端，更靠筒状体23的一端侧，主体部23B位于支撑部32B所处的整个部分，第一弹簧部23S1及第二弹簧部23S2中的至少一者的轴向中央部的外周面与支撑构件31之间的径向距离大于主体部23B与支撑部32B之间的距离。

技术领域

本发明涉及一种用于检查对象的检查的检查治具、包括所述检查治具的检查装置以及所述检查治具所使用的接触端子。

背景技术

以往，已知有一种检查装置用的检查治具，所述检查装置用的检查治具是将圆柱状的中心导体(棒状构件)插入至在轴向的中途部形成有弹簧部的筒状体(圆筒构件)中(例如，参照专利文献1)。所述检查治具使用接触端子，所述接触端子在使中心导体的端部从筒状体的端部突出的状态下，在筒状体的前端附近通过熔接或铆接加工等固定中心导体。若在接触端子中为筒状体与中心导体中的一者与电极部接触，另一者与检查对象接触的状态，则根据弹簧部的弹性复原力，一者被朝电极部施力，且另一者被朝检查对象施力，由此电极部及检查对象的接触状态稳定化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2017-142080号公报

发明内容

在所述专利文献记载的检查治具中，有时在向接触端子施加电流进行通电检查时，在筒状体的中心导体的间隙部分产生焦耳热，筒状体变为高温。而且，若产生的热传导至弹簧部，则在弹簧部中产生弹性系数的降低或热变形，成为检查装置的检查精度降低的原因。

本发明是鉴于所述状况而完成，本发明要解决的课题在于提供一种检查治具、检查装置以及接触端子，通过抑制在筒状体产生的焦耳热向弹簧部的传导，可抑制弹簧部的弹性系数的降低或热变形，维持检查装置的检查精度。

本发明为了解决所述课题而提供以下构成的检查治具。

本发明的一例的检查治具是包括接触端子及支撑所述接触端子的支撑构件的检查治具，所述接触端子包括由具有导电性的原材料形成为筒状的筒状体、与由具有导电性的原材料形成为棒状的第一中心导体及第二中心导体，所述第一中心导体具有插通至所述筒状体的一端部的第一棒状本体，所述第二中心导体具有插通至所述筒状体的另一端部的第二棒状本体，所述筒状体具有：弹簧部，包含通过沿着所述筒状体的周面设置有螺旋槽而构成的螺旋状体；以及未设置所述螺旋槽的主体部，在所述筒状体的一端侧形成有第一弹簧部，在另一端侧形成有第二弹簧部，在所述第一弹簧部与所述第二弹簧部之间形成有所述主体部，所述主体部的外周面由所述支撑构件中的支撑部支撑，当对所述筒状体沿其轴向施加检查所需的负荷时，所述第一棒状本体的插通侧端部及所述第二棒状本体的插通侧端部位于所述主体部的内周侧，所述第一棒状本体的所述插通侧端部位于，相较于支撑所述主体部的所述支撑构件中的所述支撑部的一端，更靠所述筒状体的另一端侧，所述第二棒状本体的所述插通侧端部位于，相较于所述支撑部的另一端，更靠所述筒状体的一端侧，所述主体部位于所述支撑部所处的整个部分，所述第一弹簧部及第二弹簧部中的至少一者的轴向中央部的外周面与所述支撑构件之间的径向距离大于所述主体部与所述支撑部之间的距离。

附图说明

[图1]是概略性地表示包括本发明的第一实施方式的检查治具的半导体检查装置的构成的概念图。

[图2]是图1所示的检查治具、第一间距变换块及第二间距变换块的剖面图。

[图3]是表示图1及图2所示的检查治具的构成的一例的示意性剖面图。

[图4]是表示检查治具的组装顺序的图。

[图5]是表示压缩前后的检查治具的图。