[发明专利]可动部位置检测方法、基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统

权利要求书

1.一种可动部位置检测方法，检测在腔室内的处理空间中移动的可动部的位置，其中，包括：

工序(a)，通过用第一相机拍摄配置在第一腔室内的第一可动部及第一标识部，获取第一图像；

工序(b)，通过用第二相机拍摄配置在第二腔室内的第二可动部及第二标识部，获取第二图像；

工序(c)，计算出所述第一图像中的所述第一标识部的位置与所述第二图像中的所述第二标识部的位置之间的位置差异；以及

工序(d)，根据所述第一图像中的所述第一可动部的位置以及所述位置差异，在所述第二图像中设定用于检测所述第二可动部的位置的判定区域。

2.根据权利要求1所述的可动部位置检测方法，其中，所述第一标识部分散地设置在所述第一腔室的多个部位。

3.根据权利要求1或2所述的可动部位置检测方法，其中，所述第一标识部是以水平姿势保持基板的基板保持部。

4.根据权利要求1或2所述的可动部位置检测方法，其中，所述工序(d)包括：

工序(d-1)，在所述第一图像中设定包含所述第一可动部的基准判定区域；以及

工序(d-2)，在所述第二图像中，应用所述基准判定区域，并且根据所述位置差异来修正位置，从而设定所述判定区域。

5.一种基板处理方法，使用在腔室内的处理空间中移动的可动部对基板进行处理，其中，包括：

工序(A)，通过用第一相机拍摄配置在第一腔室内的第一可动部及第一标识部，获取第一图像；

工序(B)，通过用第二相机拍摄配置在第二腔室内的第二可动部及第二标识部，获取第二图像；

工序(C)，计算出所述第一图像中的所述第一标识部的位置与所述第二图像中的所述第二标识部的位置之间的位置差异；以及

工序(D)，根据所述第一图像中的所述第一可动部的位置以及所述位置差异，在所述第二图像中设定用于检测所述第二可动部的位置的判定区域。

6.一种基板处理装置，使用在腔室内的处理空间中移动的可动部对基板进行处理，其中，具有：

第一处理单元，包括第一腔室、在所述第一腔室内的处理空间内移动的第一可动部以及设置在所述第一腔室内的第一标识部；

第二处理单元，包括第二腔室、在所述第二腔室内的处理空间内移动的第二可动部以及设置在第二腔室内的第二标识部；

第一相机，对所述第一可动部及所述第一标识部进行摄影来获取第一图像；

第二相机，对所述第二可动部及所述第二标识部进行摄影来获取第二图像；

差异运算部，求出所述第一图像中的所述第一标识部的位置与所述第二图像中的所述第二标识部的位置之间的位置差异；以及

判定区域设定部，根据所述第一图像中的所述第一可动部的位置以及所述位置差异，在所述第二图像中设定用于检测所述第二可动部的位置的判定区域。

7.一种基板处理系统，其中，具有：

第一基板处理装置，

第二基板处理装置，以及

信息处理部，以能够进行信息通信的方式与所述第一基板处理装置及所述第二基板处理装置连接；

所述第一基板处理装置具有：

第一处理单元，包括第一腔室、在所述第一腔室内的处理空间内移动的第一可动部以及设置在所述第一腔室内的第一标识部，以及

第一相机，对所述第一可动部及所述第一标识部进行摄影来获取第一图像；

所述第二基板处理装置具有：

第二处理单元，包括第二腔室、在所述第二腔室内的处理空间内移动的第二可动部以及设置在第二腔室内的第二标识部，以及

第二相机，对所述第二可动部及所述第二标识部进行摄影来获取第二图像；

所述信息处理部具有：

差异运算部，求出所述第一图像中的所述第一标识部的位置与所述第二图像中的所述第二标识部的位置之间的位置差异，以及

判定区域设定部，根据所述第一图像中的所述第一可动部的位置以及所述位置差异，在所述第二图像中设定用于检测所述第二可动部的位置的判定区域。