[发明专利]可动部位置检测方法、基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统

说明书

差异运算部(92)计算基准图像(80)中的各卡盘销(26)的位置与对象图像(82)中的各卡盘销(26)的位置之间的差异。判定区域设定部(932)在对象图像(82)中设定用于检测喷嘴(30)的位置的判定区域(DR)。此时，判定区域设定部(932)根据作为标识部的各卡盘销(26)之间的位置差异，对基准图像(80)中设定的基准判定区域(SDR)的位置进行修正，从而在对象图像(82)中设定判定区域(DR)。

技术领域

本发明涉及一种使用在基板处理装置内移动的可动部对基板进行处理的技术，尤其涉及一种检测可动部的位置的技术。成为处理对象的基板，例如包括半导体基板、液晶显示装置及有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示装置等FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板、印刷基板等。

背景技术

在半导体器件等的制造工序中，对基板供给纯水、光阻液、蚀刻液等各种处理液来进行清洗处理或抗蚀剂涂布处理等基板处理。作为使用这些处理液进行液体处理的装置，有时使用一边使基板旋转一边从喷嘴向该基板的表面喷出处理液的基板处理装置。

在对基板执行处理的处理单元中，有时使用移动至既定的位置来进行处理的可动部。作为这样的可动部，包括在既定的处理位置上向基板喷出处理液或空气等的喷嘴以及与基板的既定的位置接触来进行物理清洗等处理的刷子等。为了提高基板的处理精度并实现均匀化，优选提高配置可动部的位置的精度。

为了判定可动部的位置是否适当，有时对处理空间内进行拍摄。在该情况下，通过图像处理来进行可动部的位置检测，由此判定可动部的位置是否适当。但是，也可能存在进行这样的拍摄的相机等拍摄元件自身的设置位置发生偏离的情况，因此提出有用于应对这种情况的技术(例如，专利文献1)。

在专利文献1中，在一个腔室内，利用检测多个对准标记(基准部位)与可动部的图像处理，从通过拍摄而获得的原图像中获取它们的位置信息。记载有根据这些位置信息来确定处理空间内的可动部的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-70693号公报

发明内容

发明要解决的问题

通常的基板处理装置有时具有多个对基板进行相同处理的腔室。在该情况下，在腔室之间相机的设置状态未必一致。因此，需要对每个腔室进行用于高精度地检测可动部的位置的预先设定。

因此，本发明的目的在于，提供一种在各腔室内高效地进行用于检测可动部的位置的预先设定的技术。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题，第一形态为一种可动部位置检测方法，检测在腔室内的处理空间中移动的可动部的位置，包括：工序(a)，通过用第一相机拍摄配置在第一腔室内的第一可动部及第一标识部，获取第一图像；工序(b)，通过用第二相机拍摄配置在第二腔室内的第二可动部及第二标识部，获取第二图像；工序(c)，计算出所述第一图像中的所述第一标识部的位置与所述第二图像中的所述第二标识部的位置之间的位置差异；以及工序(d)，根据所述第一图像中的所述第一可动部的位置以及所述位置差异，在所述第二图像中设定用于检测所述第二可动部的位置的判定区域。

第二形态为，在第一形态的可动部位置检测方法中，所述第一标识部分散地设置在所述第一腔室的多个部位。

第三形态为，在第一形态或第二形态的可动部位置检测方法中，所述第一标识部是以水平姿势保持基板的基板保持部。