[发明专利]用于喷洒测量设备的系统和方法有效
申请号: | 201980056788.9 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN112638557B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | D·奥莱利;C·福尔盖;J·莱文森;J·加尔巴希克;A·特鲁法诺夫;R·克雷格;D·布雷迪 | 申请(专利权)人: | 谢尔贝克半导体技术有限公司 |
主分类号: | B08B11/00 | 分类号: | B08B11/00;B08B3/02;B08B3/12;B08B9/00;B08B9/08;B08B9/093 |
代理公司: | 北京世峰知识产权代理有限公司 11713 | 代理人: | 卓霖;刘娟 |
地址: | 美国亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 喷洒 测量 设备 系统 方法 | ||
1.一种喷洒测量系统(100),包括:
转子(10),所述转子设置在批化学处理室内,其中所述转子(10)能够操作以绕水平轴线Z旋转,其中所述转子(10)能够操作以沿顺时针或逆时针方向A以及相反的顺时针或逆时针方向B旋转;
与转子(10)操作地关联的喷洒测量设备(101),所述喷洒测量设备(101)包括:
夹具装置(102),所述夹具装置包括多个狭槽(113),其中,所述多个狭槽(113)中的每一个能够操作以接收挡板(116);和
与所述多个狭槽(113)中的一个或多个相对应的一个或多个通道(122,123),其中所述一个或多个通道(122,123)中的每一个与相应的压力传感器(130)操作地关联,以测量在所述一个或多个通道(122,123)中收集的液体量;
其中,所述喷洒测量设备(101)能够操作,以通过所述转子(10)在竖直静止位置和预定测试角度之间旋转;
和:
与所述转子(10)操作地关联的控制器(131),其中所述控制器(131)能够操作以使所述转子(10)绕所述水平轴线Z旋转,其中所述控制器(131)能够操作,以使所述转子(10)沿所述顺时针或逆时针方向A以及所述相反的顺时针或逆时针方向B在所述竖直静止位置和预定测试角度之间旋转;
其中,所述喷洒测量设备(101)能够操作以旋转至预定测试角度,并接收由喷嘴阵列(12)喷洒到所述一个或多个通道(122,123)中的液体的量,其中数据收集接口能够操作以记录在所述一个或多个通道(122,123)的每一个通道中收集的液体的量。
2.根据权利要求1所述的系统(100),其中,所述喷嘴阵列(12)保持于在所述喷洒测量设备(101)上方成角度的固定位置,其中,所述喷嘴阵列(12)能够操作以在所述喷洒测量设备(101)处喷洒所述量的液体。
3.根据权利要求1所述的系统(100),其中,所述多个挡板(116)中的每一个防止液体进入所述多个狭槽(113)中的相应狭槽(113),并且其中,手动移除所述挡板(116)允许液体进入所述多个狭槽(113)中的相应狭槽。
4.根据权利要求1所述的系统(100),其特征在于,所述喷洒测量设备(101)利用沿着壳体的相应的对侧形成的第一侧杆部分和第二侧杆部分固定在所述转子(10)内。
5.根据权利要求1所述的系统(100),其中,所述控制器(131)能够操作以记录和分析由所述数据收集接口收集的信息。
6.根据权利要求1所述的系统(100),其中,通过测量在所述多个通道(122,123)的每一个中收集的液体的量来识别所述喷嘴阵列(12)的故障喷嘴(12)。
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