[发明专利]固态成像装置和电子设备

说明书

本发明设有：基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧；和凹凸特征部，所述凹凸特征部设置在所述凹槽部的面向所述光电转换部的侧壁面上。

技术领域

本技术涉及固态成像装置和电子设备。

背景技术

传统地，已经提出了其中在划线区域和像素区域之间形成有包围像素区域的凹槽部的固态成像装置(例如，参见专利文献1)。在专利文献1所记载的固态成像装置中，通过凹槽部来停止当分割晶片时所产生的膜剥离和裂纹。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开No.2015-159275

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1所记载的固态成像装置中，存在以下可能性：到固态成像装置的入射光被凹槽部的侧壁面或底面反射，反射的入射光被配置在固态成像装置的受光面侧的盖玻璃或成像透镜反射，使得不需要的光进入像素区域，由此引起眩光(flare)。

本公开的目的是提供能够抑制眩光的固态成像装置和电子设备。

问题的解决方案

根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电二极管；(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧；和(c)凹凸部，所述凹凸部设置在所述凹槽部的内部。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部的侧壁面具有越靠近底面侧越向所述凹槽部的宽度方向内侧突出的形状。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部的侧壁面具有越靠近开口部侧越向所述凹槽部的宽度方向内侧突出的形状。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部的侧壁面的断面形状是向所述凹槽部的宽度方向外侧或宽度方向内侧突出的圆弧形状。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部的底面具有其中多个锥状立体物配置为阵列状的形状。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部内的一部分或全部由与所述基板的材料不同的材料填充到开口部。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)所述凹槽部的宽度在所述凹槽部的纵向方向的各个位置上各不相同，使得通过由所述凹槽部反射来自所述基板的受光面侧的入射光而获得的反射光被导向与所述入射光进入的方向不同的方向。

此外，根据本公开的固态成像装置包括：(a)基板，在所述基板上形成有多个光电转换部；和(b)凹槽部，所述凹槽部设置在所述基板的受光面侧，其中(c)包括多个光电转换部的像素区域与所述凹槽部之间的距离在所述凹槽部的纵向方向的各个位置上各不相同，使得通过由所述凹槽部反射来自所述基板的受光面侧的入射光而获得的反射光被导向与所述入射光进入的方向不同的方向。