[发明专利]活性气体生成装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，具有：

第1电极构成部；

第2电极构成部，设置在上述第1电极构成部的下方；以及

交流电源部，对上述第1电极构成部及上述第2电极构成部施加交流电压，

通过由上述交流电源部施加上述交流电压，由此在上述第1电极构成部及上述第2电极构成部之间形成放电空间，生成使供给至上述放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，其特征在于，

上述第1电极构成部具有第1电介质电极及选择性地形成在上述第1电介质电极的上表面上的第1金属电极，上述第2电极构成部具有第2电介质电极及选择性地形成在上述第2电介质电极的下表面上的第2金属电极，通过上述交流电压的施加，由此在上述第1电介质电极与上述第2电介质电极对置的电介质空间内，上述第1金属电极与上述第2金属电极俯视重复的区域被规定为上述放电空间，

上述第1金属电极及上述第2金属电极在电极形成方向上延伸形成，

上述第2电介质电极为，

具有用于将上述活性气体向外部喷出的多个气体喷出孔，上述活性气体包含从上述多个气体喷出孔喷出的多种局部活性气体，

上述多个气体喷出孔沿着上述电极形成方向形成，上述放电空间与上述电极形成方向上的上述多个气体喷出孔的位置对应地被分类为多个局部放电空间，

上述第1电介质电极及上述第2电介质电极中的一方的电介质电极为，

具有沿着上述电极形成方向使放电电压贡献参数变化的参数变化构造，以使得在上述交流电压的施加时在上述多个局部放电空间中产生的多个局部放电电压成为相互不同的值。

2.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其中，

上述放电电压贡献参数包括上述一方的电介质电极的膜厚，

上述参数变化构造包括沿着上述电极形成方向使上述一方的电介质电极的膜厚变化的膜厚变化构造。

3.如权利要求2所述的活性气体生成装置，其中，

上述膜厚变化构造是沿着上述电极形成方向使上述一方的电介质电极的膜厚连续地变化的构造。

4.如权利要求2所述的活性气体生成装置，其中，

上述一方的电介质电极在上述电极形成方向上，基于上述多个气体喷出孔的设置位置而被分类为多个电介质局部区域，

上述膜厚变化构造是在上述多个电介质局部区域之间使膜厚变化的构造。

5.如权利要求2至4中任一项所述的活性气体生成装置，其中，

上述一方的电介质电极包括第1层叠用局部电介质电极及第2层叠用局部电介质电极，上述第1层叠用局部电介质电极及上述第2层叠用局部电介质电极被层叠，

上述第1层叠用局部电介质电极具有均匀的膜厚，

上述第2层叠用局部电介质电极具有上述膜厚变化构造。

6.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其中，

上述放电电压贡献参数包括上述一方的电介质电极的介电常数，

上述参数变化构造包括沿着上述电极形成方向使上述一方的电介质电极的介电常数变化的介电常数变化构造。

7.如权利要求6所述的活性气体生成装置，其中，

上述一方的电介质电极包括第1层叠用局部电介质电极及第2层叠用局部电介质电极，上述第1层叠用局部电介质电极及上述第2层叠用局部电介质电极被层叠，

上述第1层叠用局部电介质电极具有均匀的介电常数，

上述第2层叠用局部电介质电极具有上述介电常数变化构造。

8.如权利要求1至7中任一项所述的活性气体生成装置，其中，

上述第2金属电极具有在俯视时夹着上述第2电介质电极的中央区域而相互对置地形成的一对第2局部金属电极，上述一对第2局部金属电极沿着上述电极形成方向形成，将与上述电极形成方向交叉的方向作为相互对置的电极对置方向，

上述第1金属电极具有一对第1局部金属电极，该一对第1局部金属电极具有在俯视时与上述一对第2局部金属电极重复的区域，

上述多个气体喷出孔形成于上述中央区域。