[发明专利]谐振子和谐振装置

权利要求书

1.一种谐振子，其特征在于，具备：

基部；

至少一个振动臂，其具有压电膜以及之间隔着所述压电膜而对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与所述基部的前端部连接的固定端，另一端是离开所述前端部设置的自由端；

保持部，其用于保持所述基部；以及

保持臂，其连接所述基部和所述保持部，

在将所述至少一个振动臂中产生的主模式的频率设为Fm，将所述保持臂中产生的寄生模式的频率设为Fs时，

满足Fs/Fm＜1.9或者2.1＜Fs/Fm。

2.根据权利要求1所述的谐振子，其特征在于，

满足Fs/Fm＜1.8或者2.2＜Fs/Fm。

3.根据权利要求1或2所述的谐振子，其特征在于，

所述保持臂具有：与所述基部的同所述前端部相反侧的后端部连接并沿着所述后端部延伸的保持后臂；和与所述保持后臂连接且沿着所述至少一个振动臂延伸的保持侧臂，

在将所述保持后臂与所述保持侧臂相互离得最远的端部彼此之间的距离设为Lc，将所述至少一个振动臂使惯性力矩相同地转换为恒定宽度的振动臂的情况下的虚设的振动臂的长度设为L5时，

满足Lc/L5＜0.520或者0.550＜Lc/L5。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振子，其特征在于，

满足Lc/L5＜0.506或者0.566＜Lc/L5。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的谐振子，其特征在于，

所述保持部具有：沿着所述至少一个振动臂延伸且隔着所述至少一个振动臂相互对置的左框和右框，

所述保持臂具有沿着所述至少一个振动臂延伸的保持侧臂，

所述保持侧臂与所述保持部的所述左框或者所述右框连接。

6.根据权利要求5所述的谐振子，其特征在于，

所述至少一个振动臂具有：从所述基部的所述前端部开始延伸的臂部；和与所述臂部的末端连接且每单位长度的重量比所述臂部大的质量附加部，

所述保持侧臂在它与所述臂部对置的位置处与所述保持部的所述左框或者所述右框连接。

7.一种谐振子，其特征在于，具备：

基部；

至少一个振动臂，其具有压电膜以及之间隔着所述压电膜而对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与所述基部的前端部连接的固定端，另一端是离开所述前端部设置的自由端；

保持部，其用于保持所述基部；以及

保持臂，其连接所述基部和所述保持部，

所述保持臂具有：与所述基部的同所述前端部相反侧的后端部连接并沿着所述后端部延伸的保持后臂；和与所述保持后臂连接且沿着所述至少一个振动臂延伸的保持侧臂，

在将所述保持后臂与所述保持侧臂相互离得最远的端部彼此之间的距离设为Lc，将所述至少一个振动臂使惯性力矩相同地转换为恒定宽度的振动臂的情况下的虚设的振动臂的长度设为L5时，

满足Lc/L5＜0.520或者0.550＜Lc/L5。

8.根据权利要求7所述的谐振子，其特征在于，

满足Lc/L5＜0.506或者0.566＜Lc/L5。

9.一种谐振装置，其特征在于，具备：

权利要求1～8中任一项所述的谐振子；

下盖，其与所述谐振子接合；以及

上盖，其隔着所述谐振子而与所述下盖接合，并在自身与所述下盖之间形成供所述至少三个振动臂振动的振动空间。