[发明专利]谐振子和谐振装置

说明书

谐振子(10)具备：基部(130)；至少一个振动臂(121A～D)，其具有压电膜(F3)、上部电极(E2)和下部电极(E1)；保持部(140)；以及保持臂(150)，在将至少一个振动臂(121A～D)中产生的主模式的频率设为Fm，将保持臂(150)中产生的寄生模式的频率设为Fs时，满足Fs/Fm＜1.9或者2.1＜Fs/Fm。

技术领域

本发明涉及谐振子和具备它的谐振装置。

背景技术

在智能手机等电子设备，例如作为定时设备，装入有作为MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)的一种的谐振装置。这样的谐振装置例如具备：下盖；在与下盖之间形成腔室的上盖；以及配置于下盖和上盖之间的腔室内的谐振子。谐振子例如具备：压电膜；隔着压电膜设置的上部电极和下部电极；以及设置于层间或者表面的绝缘膜。

作为这样的谐振子的具体结构，例如，专利文献1所公开的谐振子具备基部、从基部的末端部延出的多个振动臂、保持基部的保持部以及连接基部和保持部的一对保持臂，一对保持臂中的一者从基部的后端部延出并朝向保持部的后框延出，朝向保持部的左框屈曲，进一步朝向保持部的前框屈曲，再次朝向保持部的左框屈曲，与左框连接。同样，一对保持臂中的另一者与右框连接。

专利文献1：国际公开第2017/208568号

在以往的谐振子中，穿过设置于保持臂的布线对振动臂施加电压，因此，在保持臂也形成有电场。在振动臂以主模式振动时保持臂也以寄生模式振动。若寄生模式的频率接近主模式的频率的整数倍，寄生模式和主模式耦合，DLD(Drive Level Dependency)特性恶化。

在专利文献1记载的谐振子中，针对作为决定寄生模式的频率的一个参数的保持臂的长度，设计自由度高。因此，存在寄生模式的频率接近主模式的频率的整数倍这种情况。

发明内容

本发明是鉴于这样的状况而完成的，目的在于提供具有良好的DLD特性的谐振子和具备它的谐振装置。

本发明的一方式所涉及的谐振子具备：基部；至少一个振动臂，其具有压电膜以及之间隔着压电膜而对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与基部的前端部连接的固定端，另一端是离开前端部设置的自由端；保持部，其用于保持基部；以及保持臂，其连接基部和保持部，在将至少一个振动臂中产生的主模式的频率设为Fm，将保持臂中产生的寄生模式的频率设为Fs时，满足Fs/Fm＜1.9或者2.1＜Fs/Fm。

本发明的其他的一方式所涉及的谐振子具备：基部；至少一个振动臂，其具有压电膜以及之间隔着压电膜而对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与基部的前端部连接的固定端，另一端是离开前端部设置的自由端；保持部，其用于保持基部；以及保持臂，其连接基部和保持部，保持臂具有：与基部的同前端部相反侧的后端部连接并沿着后端部延伸的保持后臂；和与保持后臂连接且沿着至少一个振动臂延伸的保持侧臂，在将保持后臂与保持侧臂相互最为远离的端部彼此之间的距离设为Lc，将至少一个振动臂使惯性力矩相同地转换为恒定宽度的振动臂的情况下的虚设的振动臂的长度设为L5时，满足Lc/L5＜0.520或者0.550＜Lc/L5。

根据本发明，能够提供具有良好的DLD特性的谐振子和具备它的谐振装置。

附图说明

图1是概略地示出本发明的第1实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是概略地示出本发明的第1实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。

图3是概略地示出本发明的第1实施方式所涉及的谐振子的构造的俯视图。

图4是概念地示出图1所示的谐振装置的层叠构造的沿着X轴的剖视图。

图5是概念地示出图1所示的谐振装置的层叠构造的沿着Y轴的剖视图。