[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法

权利要求书

1.微机械构件，具有：

支架(10)；

可调整部件(12)；和

第一曲折形弹簧(16a)和与所述第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，所述第一曲折形弹簧和第二曲折形弹簧在相应的曲折形弹簧(16a、16b)的各一个外端部(20a、20b)处直接地或间接地接合在所述支架(10)上并且在相应的曲折形弹簧(16a、16b)的各一个内端部(22a、22b)处直接地或间接地接合在所述可调整部件(12)上；

其中，在所述第一曲折形弹簧(16a)上和/或中构造有第一致动器装置(24a)并且在所述第二曲折形弹簧(16b)上和/或中构造有第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，由此所述可调整部件(12)能够关于所述支架(10)进行调整；

其特征在于，

设有第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，所述第一扭转弹簧和所述第二扭转弹簧分别沿着旋转轴(32)延伸并且在相应的扭转弹簧(26a、26b)的各一个外端部(28a、28b)处直接地或间接地接合在所述支架(10)上并且在相应的扭转弹簧(26a、26b)的各一个内端部(30a、30b)处直接地或间接地接合在所述可调整部件(12)上，

其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。

2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述微机械构件包括至少一个传感器装置(44)，该传感器装置设计成用于发出或提供至少一个相应于所述可调整部件(12)从它的静止位置关于所述支架(10)的偏移的传感器信号，其中，所述传感器装置(44)通过至少一个构造在所述第一扭转弹簧(26a)和/或所述第二扭转弹簧(26b)上和/或中的信号导线与构造在所述支架(10)上的分析处理电子部件或构造在所述支架(10)上的分析处理电子部件-接合触点连接。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)分别包括多个由至少一个压电材料组成的压电致动器层(24a、24b)和至少一个电导线，所述压电致动器层构造在相对应的曲折形弹簧(16a、16b)的多个部分区段(34a、34b)上和/或中，所述电导线构造在相对应的曲折形弹簧(16a、16b)上和/或中，使得至少一个电压信号能够施加到所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的所述压电致动器层(24a、24b)上，使得能够引起所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形。

4.根据权利要求3所述的微机械构件，其中，所述第一曲折形弹簧(16a)的各两个相邻的构造有压电致动器层(24a)的部分区段(34a、34b)通过所述第一曲折形弹簧(16a)的各一个中间区段(36)相互连接，并且所述第二曲折形弹簧(16b)的各两个相邻的构造有压电致动器层(24b)的部分区段(34a、34b)通过所述第二曲折形弹簧(16b)的各一个中间区段(36)相互连接，其中，所述第一曲折形弹簧(16a)的中间区段(36)中的至少一个中间区段通过各一个接片元件(62)与所述第二曲折形弹簧(16b)的对此关于所述第一对称平面(18)镜面对称的中间区段(36)连接。

5.根据权利要求3或4所述的微机械构件，其中，所述第一曲折形弹簧(16a)的构造有压电致动器层(24a)的所述部分区段(34a、34b)和所述第二曲折形弹簧(16b)的构造有压电致动器层(24b)的所述部分区段(34a、34b)彼此平行地并且垂直于所述旋转轴(32)地定向。