[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法

说明书

本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。

技术领域

本发明涉及一种微机械构件。本发明同样涉及一种用于微机械构件的制造方法。

背景技术

在JP 2009-223165 A中描述一种可调整的微镜，该微镜应该能够借助于两个具有部分区段的曲折形弹簧关于可调整微镜的支架调整，所述部分区段分别通过至少一个压电材料覆盖。尤其地，通过将至少一个电压施加到所述至少一个压电材料上应该能够交替地形成作用到两个曲折形弹簧的部分区段上的弯曲应力或拉应力，使得可调整微镜借助于两个曲折形弹簧的引起的镜面对称的变形关于其支架进行调整。

发明内容

本发明实现一种具有权利要求1的特征的微机械构件和一种具有权利要求9的特征的用于微机械构件的制造方法。

本发明实现一种微机械构件，具有相应的可调整部件，该可调整部件可以有针对性地围绕借助于两个扭转弹簧的构造而固定的旋转轴调整，其中，可调整部件的另外的不期望的调整运动的出现、即所谓的干扰模式的出现借助于这两个扭转弹簧减少/防止。因此，在这种微机械构件运行时，干扰模式的激励的频率相对于现有技术明显减小。

如下面更详细阐释的那样，两个扭转弹簧尤其抵抗可调整部件从两个扭转弹簧的平面中“提升出来”或可调整部件垂直于旋转轴的干扰模式。由此，本发明实现具有相对于现有技术改善运行的微机械构件。附加地，本发明在微机械构件的相对较小的制造费用的情况下确保微机械构件的这些优点。

在有利的实施方式中，微机械构件包括至少一个传感器装置，所述传感器装置设计成用于发出或提供相应于可调整部件从其静止位置关于支架的偏移的至少一个传感器信号，其中，传感器装置通过至少一个构造在第一扭转弹簧和/或第二扭转弹簧上和/或中的信号导线与构造在支架上的分析处理电子部件或构造在支架上的分析处理电子部件-应用触点连接。因此，对于传感器装置的电接触可以取消根据现有技术的构造在所述至少两个曲折形弹簧上和/或中的信号导线。因此，传感器装置的电接触与对于所述至少两个曲折形弹簧的期望的好的可弯曲性的副作用无关。

优选地，第一致动器装置和第二致动器装置分别包括多个由至少一个压电材料组成的压电致动器层和至少一个电导线，所述压电致动器层构造在相对应的曲折形弹簧的多个部分区段上和/或中，所述电导线构造在相对应的曲折形弹簧上和/或中，从而使至少一个电压信号这样施加到第一曲折形弹簧或第二曲折形弹簧的压电致动器层上，使得可以引起第一曲折形弹簧和第二曲折形弹簧的周期性的和镜面对称的变形。以该方式，可以使第一曲折形弹簧和第二曲折形弹簧的构造有压电致动器层的部分区段这样弯曲，使得可调整部件以相对较大的调整角度从其静止位置关于支架围绕旋转轴调整。

在微机械构件的有利的实施方式中，第一曲折形弹簧的各两个相邻的构造有压电致动器层的部分区段通过各一个第一曲折形弹簧的中间区段相互连接，并且第二曲折形弹簧的各两个相邻的构造有压电致动器层的部分区段通过各一个第二曲折形弹簧的中间区段相互连接，其中，第一曲折形弹簧的中间区段的至少一个中间区段通过各一个接片元件与第二曲折形弹簧的对此关于第一对称平面镜面对称的中间区段连接。在这种情况下，微机械构件的所述至少一个接片元件有助于干扰模式的附加抑制。