[发明专利]电镀装置

权利要求书

1.一种电镀装置，其特征在于，具备：

电镀槽，其由电镀液填满；

阳极，其设置于所述电镀槽内，且以与被电镀体对置的方式配置；

阴极，其向所述被电镀体供电；以及

遮挡部件，其设置于所述电镀槽内，且具有介于所述阳极与所述被电镀体的端部之间的板状部，

所述阳极具有：棒状的电极部；和壳体部，其覆盖所述电极部的端部，

所述板状部具有贯通所述板状部的开口。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

所述壳体部的至少一部分与所述开口对置。

3.根据权利要求1或2所述的电镀装置，其特征在于，

所述板状部具有多个所述开口，

多个所述开口沿着所述被电镀体的长边方向排列。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的电镀装置，其特征在于，

满足下述式(1)，W₁＜W₂…(1)

在所述式(1)中，W₁是在所述板状部中与所述被电镀体重叠的区域的长度，W₂是在所述板状部中不与所述被电镀体重叠的区域的长度。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的电镀装置，其特征在于，

满足下述式(2)，W₁×0.5＞W₃…(2)

在所述式(2)中，W₁是在所述板状部中与所述被电镀体重叠的区域的长度，W₃是从所述板状部的一端至所述开口的中心的距离。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的电镀装置，其特征在于，

所述遮挡部件包含：

一对所述板状部，所述被电镀体介于该一对所述板状部之间；和

连结部，其将一对所述板状部彼此连结，

所述连结部具有贯通所述连结部的贯通孔。