[发明专利]目标形成装置

权利要求书

1.一种用于极紫外光源的系统，所述系统包括：

毛细管，所述毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，所述侧壁包括外壁和内壁，所述内壁限定从所述第一端延伸到所述第二端的通道；

致动器，被配置为定位在所述毛细管的所述外壁处；以及

在所述外壁与所述致动器之间的粘合剂，所述粘合剂被配置为机械耦合所述致动器和所述毛细管，其中所述粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。

2.根据权利要求1所述的系统，其中在增加所述粘合剂的温度的同时，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。

3.根据权利要求2所述的系统，其中当所述粘合剂的温度高于与所述粘合剂的胶凝点相关联的温度时，所述粘合剂占据继续膨胀或保持基本相同的体积。

4.根据权利要求1所述的系统，其中至少在高于所述粘合剂的胶凝点的一些温度处，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述粘合剂包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述粘合剂包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述致动器围绕所述毛细管的所述外壁的至少一部分，并且所述粘合剂围绕所述毛细管的所述外壁的所述一部分。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述致动器包括压电调节器。

9.根据权利要求1所述的系统，还包括耦合到所述致动器的控制系统，所述控制系统被配置为向所述致动器提供致动信号，所述致动信号足以引起所述致动器以一定频率振动。

10.一种用于极紫外光源的系统，所述系统包括：

管，包括从第一端处的第一开口延伸到第二端处的第二开口的侧壁，所述侧壁包括外壁和内壁，所述内壁限定从所述第一端延伸到所述第二端的通道；

致动器，围绕所述管的所述外壁的一部分；以及

粘合剂，填充所述外壁的所述一部分与所述致动器之间的区域，使得所述粘合剂与所述外壁的所述一部分以及所述致动器接触，其中在操作使用期间：在所述致动器使所述管振动以形成目标材料微滴流的同时，熔融金属目标材料流入所述管的所述第二开口中并且流出所述管的所述第一开口，并且所述粘合剂保持与所述外壁的所述一部分以及所述致动器接触。

11.根据权利要求10所述的系统，其中在操作使用期间，所述外壁被加热到高于所述粘合剂的固化温度的温度，并且当所述外壁被加热到高于所述固化温度的温度时，所述粘合剂保持与所述外壁的所述一部分以及所述致动器接触。

12.根据权利要求10所述的系统，其中在增加所述粘合剂的温度的同时，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。

13.根据权利要求12所述的系统，其中当所述粘合剂的温度高于与所述粘合剂的胶凝点相关联的温度时，所述粘合剂占据继续膨胀或保持基本相同的体积。

14.根据权利要求10所述的系统，其中至少在高于所述粘合剂的胶凝点的一些温度处，所述粘合剂占据保持基本相同或膨胀的体积。

15.根据权利要求10所述的系统，其中所述粘合剂包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。

16.根据权利要求10所述的系统，其中所述粘合剂包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。

17.根据权利要求10所述的系统，其中所述致动器围绕所述毛细管的所述外壁的至少一部分，并且所述粘合剂围绕所述毛细管的所述外壁的所述一部分。