[发明专利]目标形成装置

说明书

一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械耦合致动器和毛细管，其中粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年9月24日提交的题为“TARGET FORMATION APPARATUS”的美国第62/735,420号申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本公开涉及一种用于极紫外(EUV)光源的目标形成装置。

背景技术

极紫外线(“EUV”)光(例如，波长为100纳米(nm)或更小的电磁辐射(有时也称为软X射线)，并且包括波长为例如20nm或更小，在5nm至20nm之间或在13nm至14nm之间的光)可以用于光刻工艺中以通过在抗蚀剂层中引发聚合来在衬底(例如，硅晶片)中产生极小特征。

产生EUV光的方法包括但不限于将包括氙、锂或锡等元素的材料转换成等离子体状态的EUV范围的发射线。在通常称为激光产生等离子体(“LPP”)的一种这样的方法中，所需要的等离子体可以通过用可以称为驱动激光的放大光束照射材料的微滴、板、带、流或簇的形式的目标材料来产生。对于该过程，通常在密封容器(例如，真空室)中产生等离子体，并且使用各种类型的量测设备对其进行监测。

发明内容

在一个总体方面，一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械地耦合致动器和毛细管。粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。

实现可以包括以下特征中的一项或多项。在增加粘合剂的温度的同时，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。当粘合剂的温度高于与粘合剂的胶凝点相关联的温度时，粘合剂可以占据继续膨胀或保持基本相同的体积。

至少在高于粘合剂的胶凝点的一些温度处，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。

粘合剂可以包括苯并恶嗪树脂或含苯并恶嗪的树脂。

粘合剂可以包括氰酸酯树脂或含氰酸酯的树脂。

致动器可以围绕毛细管的外壁的至少一部分，并且粘合剂可以围绕毛细管的外壁的一部分。致动器可以包括压电调节器。

该系统还可以包括耦合到致动器的控制系统，控制系统被配置为向致动器提供致动信号，致动信号足以引起致动器以一定频率振动。

在另一总体方面，一种用于极紫外光源的系统包括：管，该管包括从第一端处的第一开口延伸到第二端处的第二开口的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；围绕管的外壁的一部分的致动器；以及粘合剂，填充外壁的一部分与致动器之间的区域，使得粘合剂与外壁的一部分以及致动器接触。在操作使用期间：在致动器使管振动以形成目标材料微滴流的同时，熔融金属目标材料流入管的第二开口中并且流出管的第一开口，并且粘合剂保持与外壁的一部分以及致动器接触。

实现可以包括以下特征中的一项或多项。在操作使用期间，外壁可以被加热到高于粘合剂的固化温度的温度，并且当外壁被加热到高于固化温度的温度时，粘合剂保持与外壁的一部分以及致动器接触。

在增加粘合剂的温度的同时，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。当粘合剂的温度高于与粘合剂的胶凝点相关联的温度时，粘合剂可以占据继续膨胀或保持基本相同的体积。

至少在高于粘合剂的胶凝点的一些温度处，粘合剂可以占据保持基本相同或膨胀的体积。