[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、

(B)下述式(1)所示的化合物、

(C)光聚合引发剂、以及

(D)热自由基产生剂，

[化36]

式(1)中，A为2价有机基团，不含丙烯酰基或甲基丙烯酰基，R¹～R⁴各自独立地为氢原子或碳原子数1～4的脂肪族烃基，n1和n2各自独立地为1～20的整数，m1和m2各自独立地为0或1。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述式(1)中的n1和n2各自独立地为1或2。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述式(1)中的R¹和R²为氢原子。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述式(1)中的R³和R⁴为氢原子。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述式(1)中的A为碳原子数1～20的2价脂肪族烃基、碳原子数6～20的2价芳香族烃基、氧原子(-O-)或它们中的2者以上连接而形成的基团。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为有机过氧化物。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为过氧化酯或二烷基过氧化物。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为过氧化酯。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为具有下述式(11)所示的结构单元的聚酰亚胺前体，

[化37]

式(11)中，X¹为具有1个以上芳香族基团的4价基团，Y¹为2价芳香族基团，R¹¹和R¹²各自独立地为氢原子、下述式(12)所示的基团或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R¹¹和R¹²的至少一方为下述式(12)所示的基团，-COOR¹¹基与-CONH-基彼此处于邻位，-COOR¹²基与-CO-基彼此处于邻位，

[化38]

式(12)中，R¹³～R¹⁵各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。

10.一种图案固化膜的制造方法，其包括下述工序：

将权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上，进行干燥而形成感光性树脂膜的工序；

将所述感光性树脂膜进行图案曝光，获得树脂膜的工序；

使用有机溶剂将所述图案曝光后的树脂膜进行显影，获得图案树脂膜的工序；以及

对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。

11.根据权利要求10所述的图案固化膜的制造方法，所述加热处理的温度小于或等于200℃。

12.一种固化膜，其是将权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成的。

13.根据权利要求12所述的固化膜，其为图案固化膜。

14.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，其是使用权利要求12或13所述的固化膜制作的。

15.一种电子部件，其包含权利要求14所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。