[发明专利]用于检查的装置、方法及记录命令的记录介质在审
申请号: | 201980065992.7 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN112805816A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 朴正扜;吴秉宣 | 申请(专利权)人: | 株式会社高迎科技 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检查 装置 方法 记录 命令 介质 | ||
1.一种装置,包括:
至少一个第一光源,所述第一光源向位于基准面上的对象体照射照明光;
一个以上的摄像头,所述摄像头捕获所述照明光从所述对象体反射而生成的一个以上的照明图像;及
一个以上的处理器,
所述处理器,
在所述一个以上的照明图像上确定表示所述对象体的边角的一个以上的轮廓线,
基于所述一个以上的轮廓线确定所述对象体上面的边角相对于所述基准面所具有的高度值,
基于所述高度值确定所述对象体上面与所述基准面之间的第一角度。
2.根据权利要求1所述的装置,其中,
还包括至少一个第二光源,所述至少一个第二光源向所述对象体照射图案光;
所述一个以上的摄像头捕获所述图案光从所述对象体反射而生成的一个以上的图案图像,
所述处理器,
基于所述一个以上的照明图像及所述一个以上的图案图像确定表示所述对象体的边角的所述一个以上的轮廓线,
基于所述一个以上的轮廓线确定与所述对象体上面对应的虚拟平面,
将所述虚拟平面与所述基准面之间的第二角度确定为所述第一角度。
3.根据权利要求2所述的装置,其中,
所述一个以上的摄像头包括:上方摄像头,所述上方摄像头从所述对象体的上方捕获照明图像或图案图像;及一个以上的侧方摄像头,所述一个以上的侧方摄像头从所述对象体的一个以上的侧方捕获照明图像或图案图像。
4.根据权利要求3所述的装置,其中,
所述一个以上的照明图像及所述一个以上的图案图像中的一部分是由所述上方摄像头从所述对象体的上方捕获的上方图像,
所述一个以上的照明图像及所述一个以上的图案图像中的另一部分是由所述一个以上的侧方摄像头从所述对象体的一个以上的侧方捕获的侧方图像。
5.根据权利要求4所述的装置,其中,
所述处理器,
提取表示所述对象体的相同的一个边角的所述上方图像上的第一轮廓线及所述一个以上的侧方图像上的第二轮廓线,
基于所述第一轮廓线及所述第二轮廓线确定所述虚拟平面。
6.根据权利要求5所述的装置,其中,
所述处理器,
确定指示所述第一轮廓线及第二轮廓线之间的对应关系的第一关系信息,
基于所述第一关系信息确定所述虚拟平面。
7.根据权利要求6所述的装置,其中,
所述第一轮廓线上的第一点与所述第二轮廓线上的第二点对应,
所述第一关系信息包括一对坐标信息,所述一对坐标信息是在所述上方图像上所述第一点所具有的坐标信息及在所述一个以上的侧方图像上所述第二点所具有的坐标信息。
8.根据权利要求6所述的装置,其中,
所述处理器,
在所述一个以上的侧方图像中,提取表示所述对象体的相同的一个边角的一个侧方图像上的第三轮廓线及另一个侧方图像上的第四轮廓线,
确定指示所述第三轮廓线及所述第四轮廓线之间的对应关系的第二关系信息,
基于所述第一关系信息及所述第二关系信息确定所述虚拟平面。
9.根据权利要求2所述的装置,其中,
所述处理器,
在所述一个以上的照明图像及所述一个以上的图案图像中,选择所述对象体表面的对比值为预设值以上的图像而确定所述虚拟平面。
10.根据权利要求2所述的装置,其中,
所述对象体具有多个层被堆叠的形态,所述一个以上的轮廓线指示所述多个层各个的边角,
所述处理器,
基于所述一个以上的轮廓线确定分别对应于所述多个层的多个虚拟平面,
基于分别对应于所述多个层的多个虚拟平面确定所述多个层各个之间的间隔。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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