[发明专利]氧化膜厚测量装置以及该方法

权利要求书

1.一种氧化膜厚测量装置，测量在钢板的钢板表面生成的氧化物的膜厚，其特征在于包括：

膜厚转换信息存储部，存储表示所述钢板表面的发光亮度与所述氧化物的膜厚之间的对应关系的多个膜厚转换信息；

多个发光亮度测量部，以互不相同的多个测量波长测量所述钢板表面的发光亮度；以及

膜厚处理部，通过使用存储在所述膜厚转换信息存储部的多个膜厚转换信息，基于所述多个发光亮度测量部各自测量的钢板表面的各发光亮度，求出所述氧化物的膜厚，其中，

所述多个膜厚转换信息以其各个信息与所述多个测量波长的各个波长一对一地对应并且该各个信息与将指定的膜厚测量范围划分的多个子膜厚测量范围的各个范围一对一地对应的方式预先被准备，

在对应于该膜厚转换信息的子膜厚测量范围内，该膜厚转换信息中相对于膜厚变化的发光亮度变化之比处于与该膜厚转换信息相对应的指定的设定范围内，

所述膜厚处理部针对所述多个发光亮度测量部各自测量的钢板表面的各发光亮度，通过使用与对应于该发光亮度测量部的测量波长相对应的膜厚转换信息，求出与该发光亮度测量部测量的钢板表面的发光亮度相对应的所述氧化物的膜厚、和在该氧化物的膜厚下的相对于膜厚变化的发光亮度变化之比，并且在所述求出的比处于与该膜厚转换信息相对应的指定的设定范围内的情况下，将所述求出的氧化物的膜厚作为实际的膜厚的候选值而提取。

2.一种氧化膜厚测量方法，测量在钢板的钢板表面生成的氧化物的膜厚，其特征在于包括以下步骤：

多个发光亮度测量步骤，以互不相同的多个测量波长测量所述钢板表面的发光亮度；以及

膜厚处理步骤，通过使用表示所述钢板表面的发光亮度与所述氧化物的膜厚之间的对应关系的多个膜厚转换信息，基于在所述多个发光亮度测量步骤各自中测量的钢板表面的各发光亮度，求出所述氧化物的膜厚，其中，

所述多个膜厚转换信息以其各个信息与所述多个测量波长的各个波长一对一地对应并且该各个信息与将指定的膜厚测量范围划分的多个子膜厚测量范围的各个范围一对一对应的方式预先被准备，

在对应于该膜厚转换信息的子膜厚测量范围内，该膜厚转换信息中相对于膜厚变化的发光亮度变化之比处于与该膜厚转换信息相对应的指定的设定范围内，

在所述膜厚处理步骤中，针对在所述多个发光亮度测量步骤各自中测量的钢板表面的各发光亮度，通过使用与对应于该发光亮度测量步骤的测量波长相对应的膜厚转换信息，求出与在该发光亮度测量步骤中测量的钢板表面的发光亮度相对应的所述氧化物的膜厚、和在该氧化物的膜厚下的相对于膜厚变化的发光亮度变化之比，并且在所述求出的比处于与该膜厚转换信息相对应的指定的设定范围内的情况下，将所述求出的氧化物的膜厚作为实际的膜厚的候选值而提取。