[发明专利]氧化膜厚测量装置以及该方法

说明书

本发明的氧化膜厚测量装置针对将膜厚测量范围划分的多个子膜厚测量范围分别存储有膜厚与发光亮度的对应关系的膜厚转换信息，在该子膜厚测量范围内，相对于膜厚变化的发光亮度变化之比处于设定范围内，多个发光亮度测量部各自以不同的多个测量波长测量钢板表面的发光亮度，针对多个发光亮度测量部各自测量的钢板表面的各发光亮度，通过使用与该发光亮度测量部相对应的膜厚转换信息，求出与该测量的发光亮度相对应的膜厚和该膜厚下的比，并且在该求出的比处于与该膜厚转换信息相对应的设定范围内的情况下，将该求出的膜厚作为实际的膜厚的候选值而提取。

技术领域

本发明涉及一种测量在钢板表面生成的氧化物的膜厚的氧化膜厚测量装置以及氧化膜厚测量方法。

背景技术

热浸镀锌钢板具有优异的耐腐蚀性、加工性以及表而美观等各种特性，因此，适合作为例如汽车用钢板而被使用。已知在该热浸镀锌中，在退火步骤生成于钢板表面的氧化物对在热浸镀锌步骤形成的镀层的镀覆特性带来坏影响。因此，需要测量所述氧化物的膜厚，且需要在还原步骤适当地还原所述氧化物，所以所述氧化物的膜厚测量是重要的。

作为测量此种所述氧化物的膜厚的技术，有预先求出钢板表面的发射率(emissivity)(发光亮度(emittinglight luminance))与氧化物的膜厚的关系，根据所述关系，求出与通过测量获得的发射率(发光亮度)相对应的氧化物的膜厚的技术(例如参照专利文献1)。

钢板表面的发射率(发光亮度)与氧化物的膜厚的关系一般具有随着氧化物的膜厚增加而钢板表面的发射率(发光亮度)单调地增加后达到峰值，其后减少或反复增减的轮廓(profile)。因此，如果通过使用该关系来求出与通过测量获得的发射率(发光亮度)相对应的氧化物的膜厚，则可能发生氧化物的膜厚不能决定为1个的情况。因此，通过使用所述关系求出氧化物的膜厚的情况下，存在只能测量到与所述峰值对应的膜厚的限制。而且，在该限制下，即使在钢板表面的发射率(发光亮度)和氧化物的膜厚一对一地对应的范围求出氧化物的膜厚，在相对于膜厚变化的发射率(发光亮度)变化之比(斜率)小的情况下，因通过测量获得的发射率(发光亮度)的一点点偏差，就会使氧化物的膜厚较大地变化，难以精确地求出氧化物的膜厚。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公开公报特开平3-293504号

发明内容

本发明是鉴于所述的情况而作出的发明，其目的在于提供一种能够在更广的范围更精确地测量氧化物的膜厚的氧化膜厚测量装置以及氧化膜厚测量方法。

本发明所涉及的氧化膜厚测量装置以及氧化膜厚测量方法针对将膜厚测量范围划分的多个子膜厚测量范围分别准备膜厚与发光亮度的对应关系的膜厚转换信息，在该子膜厚测量范围内，相对于膜厚变化的发光亮度变化之比处于设定范围内，多个发光亮度测量部各自以不同的多个测量波长测量钢板表面的发光亮度，针对多个发光亮度测量部各自测量的钢板表面的各发光亮度，通过使用与该发光亮度测量部相对应的膜厚转换信息，求出与该发光亮度测量部测量的发光亮度相对应的膜厚和该膜厚下的比，并且在该求出的比处于与该膜厚转换信息相对应的指定的设定范围内的情况下，将该求出的膜厚作为实际的膜厚的候选值而提取。

所述以及其他的本发明的目的、特征以及优点通过以下的详细记载和附图将更加明了。

附图说明

图1是表示实施方式中的氧化膜厚测量装置的结构的框图。

图2是用于说明将所述氧化膜厚测量装置的第一及第二发光亮度测量部安装于钢板的输送路上的配置方式的剖视图。

图3是用于说明存储于所述氧化膜厚测量装置的多个膜厚转换信息的图。

图4是表示不同测量波长下的氧化物的膜厚与发射率(发光亮度)之间的关系的图。

图5是说明用于计算单层膜的反射率的计算模型的图。