[发明专利]用于容器的光罩支撑件

权利要求书

1.一种用于支撑工件的容器，其包括：

门及壳体，所述壳体能够与所述门耦合以界定隔离环境；

工件支撑件，其经固定到所述门，所述工件支撑件包含经配置以支撑工件的支撑柱，所述支撑柱包含：

第一倾斜壁；及

第二倾斜壁，其在所述第一倾斜壁的底部处，所述第二倾斜壁经配置以支撑工件，

其中所述第一倾斜壁及所述第二倾斜壁以不同非零斜率定向。

2.根据权利要求1所述的容器，其中所述第一倾斜壁相对于垂直轴成45°或约45°或更小的角度定向。

3.根据权利要求1所述的容器，其中所述第二倾斜壁相对于水平轴成大于0°或约0°以及成大于15°或约15°或更小的角度定向。

4.根据权利要求1所述的容器，其中所述第一倾斜壁及所述第二倾斜壁中的一或多者包含弯曲、非平坦表面。

5.根据权利要求1所述的容器，其中所述第一倾斜壁与所述第二倾斜壁邻接或分离。

6.一种用于支撑工件的容器，其包括：

门；

壳体，其能够与所述门耦合以在所述容器内界定隔离环境；

工件支撑件，其经安装到所述门，所述工件支撑件包含支撑柱，所述支撑柱经配置以支撑工件，所述支撑柱包含由以下项组成的倾斜壁：

一对第一倾斜壁；及

一对第二倾斜壁，其在所述一对第一倾斜壁的底部处，所述一对第二倾斜壁经配置为支撑工件的唯一接触点，

其中所述一对第一倾斜壁及所述一对第二倾斜壁以不同非零斜率布置。

7.根据权利要求6所述的容器，其中所述一对第一倾斜壁相对于垂直轴成45°或约45°或更小的角度定向。

8.根据权利要求6所述的容器，其中所述一对第二倾斜壁相对于水平轴成大于0°或约0°以及成大于15°或约15°或更小的角度定向。

9.根据权利要求6所述的容器，其中在就座状态，所述一对第二倾斜壁经配置以在围绕工件的下边缘的倒角的下边缘处接合所述工件。

10.根据权利要求6所述的容器，其中在未就座状态，所述一对第一倾斜壁经定向使得与工件的偶然接触安置在围绕所述工件的下边缘的倒角的上边缘处。

11.根据权利要求6所述的容器，其中所述一对第一倾斜壁及所述一对第二倾斜壁中的一或多者包含弯曲、非平坦表面。

12.根据权利要求6所述的容器，其中所述一对第一倾斜壁与所述一对第二倾斜壁邻接或分离。