[发明专利]感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法

权利要求书

1.一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，其特征在于，具备：

光谱仪，其将被设定于所述等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；

检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；

测定装置，其按每一个与至少所述试料通过所述测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的所述空间分布进行测定。

2.如权利要求1所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，

所述测定装置包括按每一个所述测定单位时间拍摄所述空间分布而生成时间序列图像的图像生成单元。

3.如权利要求2所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，

所述测定装置还包括以使所述空间分布与所述时间序列图像的图像坐标对应的方式而求出光强度分布的图像解析单元。

4.如权利要求2或3所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，

所述检测装置由图像增强器构成，所述图像增强器一边放大由所述光谱仪分解后的光，一边将所述空间分布作为二维图像而进行检测，

所述图像生成单元由高速摄像头构成，所述高速摄像头能够对实现按每一个针对所述二维图像的所述测定单位时间的拍摄的帧率进行设定。

5.如权利要求1～4中任一项所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，

还具备将所述试料间歇性地供给至所述等离子体的试料等离子体间歇供给装置，

所述测定单位时间被设定为，能够在来自所述试料等离子体间歇供给装置的一个所述试料于所述测定区域中移动的过程中，执行预定次数以上的由所述测定装置实施的测定。

6.如权利要求5所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，还具备：

同步装置，其根据所述测定单位时间，生成使由所述试料等离子体间歇供给装置实施的所述试料的供给定时与所述等离子体的发光状态的测定定时同步的同步信号；

供给定时控制部，其根据所述同步信号，对由所述试料等离子体间歇供给装置实施的所述试料的供给定时进行控制。

7.如权利要求5或6所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，

所述试料等离子体间歇供给装置具备：

导入装置，其导入所述试料；

等离子体枪，其设置有生成所述等离子体的等离子体生成单元，并将被导入的所述试料引导至所述等离子体，

在所述等离子体枪的上部设置有所述导入装置，在所述等离子体枪的下部设置有所述等离子体生成单元。

8.一种感应耦合等离子体分析方法，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，其中，

将被设定于所述等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量，

对被分解后的光的空间分布进行检测，

按每一个与至少所述试料通过所述测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的所述空间分布进行测定。