[发明专利]感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法

说明书

一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；测定装置，其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的空间分布进行测定。

技术领域

本发明涉及本发明涉及感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法。

背景技术

在将等离子体用于原子化源或者离子化源的感应耦合等离子体(ICP：Inductively Coupled Plasma)发光分析装置中，将试料供给至等离子体源而进行等离子体化(激发)，并根据对来自等离子体的光进行波长分解而获得的发光光谱而进行试料的分析。

在日本特开JP2002/5837A中，提出了一种分光分析装置，所述分光分析装置通过光谱仪使来自等离子体的光分光，通过多个CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)光检测器而以与等离子体上的位置对应的方式进行检测，并根据该检测结果而对按等离子体上的每一个位置的发光强度的分布进行检测。

发明内容

然而，在专利文献1的分光分析装置中，存在以下问题，即，无法确定作为本来的分析对象的试料的等离子体中的位置，难以从所获得的发光强度分布中适当地去除噪声(由试料以外的污染和各种气体成分的激发产生的影响)而仅提取由目的的试料的激发产生的影响。

鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种能够进一步高精度地从等离子体的发光中测定分析对象的试料的影响的感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法。

根据本发明的某一方式，提供一种对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定的感应耦合等离子体分析系统。

此外，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；测定装置，其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的空间分布进行测定。

附图说明

图1为对本发明的第一实施方式所涉及的感应耦合等离子体分析系统的结构进行说明的图。

图2为表示本实施方式的小滴装置的结构的图。

图3为对等离子体的测定区域进行说明的图。

图4为对拍摄等离子体的测定区域而获得的时间序列图像的一个示例进行说明的图。

图5为对本实施方式的小滴装置和参考例的不同点进行说明的图。

图6为对本发明的第二实施方式所涉及的感应耦合等离子体分析系统的结构进行说明的图。

图7为表示实施例一的测定结果的图。

图8为表示实施例二的测定结果的图。

图9为表示实施例三的测定结果的图。

图10为表示比较例的测定结果的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的各实施方式进行说明。

(第一实施方式)

以下，对第一实施方式进行说明。

图1为对本实施方式所涉及的感应耦合等离子体分析系统10的结构进行说明的图。如图所示，感应耦合等离子体分析系统10具有小滴装置12、试料供给控制装置14、和等离子体测定单元16。