[发明专利]前管道设备前端模块、侧存储舱及其操作方法

权利要求书

1.一种设备前端模块，包括：

前壁、后壁和两个侧壁，所述前壁包括多个装载口，且所述后壁经配置以耦接至装载锁定设备；

设备前端模块腔室，所述设备前端模块腔室形成于所述前壁、所述后壁和所述两个侧壁之间；

在所述设备前端模块的顶部的上部气室，且包括进入所述设备前端模块腔室的开口；和

多个返回管道，所述多个返回管道提供气体回流路径，所述气体回流路径使得气体能够从所述设备前端模块腔室再循环到所述上部气室，其中所述多个返回管道中的至少一些返回管道位于所述装载口之间。

2.如权利要求1所述的设备前端模块，其中所述多个返回管道沿着所述前壁延伸，并且其中所述多个返回管道中的至少一些返回管道被配置以在两个相邻的载体门开启器的侧面之间向上延伸。

3.如权利要求1所述的设备前端模块，其中第一侧存储舱耦接至所述两个侧壁中的至少一个侧壁，并且其中来自所述第一侧存储舱的排气通道由侧返回管道耦接至所述上部气室。

4.如权利要求1所述的设备前端模块，包括：第一侧存储舱和第二侧存储舱，所述第一侧存储舱耦接至所述两个侧壁中的第一侧壁，所述第二侧存储舱耦接至所述两个侧壁中的第二侧壁。

5.如权利要求1所述的设备前端模块，包括：四个基板载体，所述四个基板载体对接在所述多个装载口处，且所述至少三个返回管道提供所述气体回流路径。

6.一种电子装置制造组件，包括：

设备前端模块，包括：

前壁、后壁和两个侧壁，所述前壁包括多个装载口，且所述后壁经配置以耦接至装载锁定设备；

设备前端模块腔室，所述设备前端模块腔室形成于所述前壁、所述后壁和所述两个侧壁之间；

在所述设备前端模块的顶部的上部气室，且包括进入所述设备前端模块腔室的开口；

多个返回管道，所述多个返回管道提供气体回流路径，所述气体回流路径使得气体能够从所述设备前端模块腔室再循环到所述上部气室，其中所述多个返回管道中的至少一些返回管道位于所述多个装载口中的一些装载口之间；

第一侧存储舱，所述第一侧存储舱经由所述设备前端模块的所述两个侧壁中的第一侧壁中的接口开口耦接到所述第一侧壁，所述第一侧存储舱经配置以从所述设备前端模块腔室接收一个或多个基板，所述第一侧存储舱包括排气通道；和

第一侧返回管道，所述第一侧返回管道耦接在所述排气通道和所述上部气室之间。

7.如权利要求6所述的电子装置制造组件，其中所述多个装载口中的两个装载口中的每一者包括载体门开启器，且所述多个返回管道中的一个返回管道被配置以在所述载体门开启器的侧面之间向上延伸。

8.如权利要求6所述的电子装置制造组件，其中所述多个返回管道中的至少一些返回管道被配置以沿着所述前壁的内表面向上延伸。

9.如权利要求6所述的电子装置制造组件，其中所述多个返回管道中的至少一些返回管道被配置以沿着所述前壁的外表面向上延伸。

10.如权利要求6所述的电子装置制造组件，其中所述第一侧存储舱进一步包括：

一个或多个腔室，所述一个或多个腔室中的每个腔室具有位于邻近于所述接口开口的腔室开口；和

位于所述一个或多个腔室中的一个或多个侧存储容器，所述一个或多个侧存储容器中的每一者经配置以从所述设备前端模块腔室接收所述基板中的一个或多个基板，所述一个或多个侧存储容器中的每一者耦接到所述排气通道并经配置以排出从所述腔室开口进入的气体。

11.如权利要求10所述的电子装置制造组件，进一步包括位于耦接至所述排气通道的第三气室中的化学过滤器。