[发明专利]测试点温度控制系统和方法

权利要求书

1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：

一流体冷却器，用于生成冷却液流；

一空气干燥器，用于生成干燥空气流；以及

多个测试工位，设于所述流体冷却器和所述空气干燥器的远程位置，每一测试工位包括：

一换热器，用于以所述冷却液流选择性地冷却所述干燥空气流，以生成输出流；以及

一热控单元，用于对所述输出流向本地测试点的分配进行控制。

2.一种温度控制系统，其特征在于，包括：

一流体冷却器，用于生成冷却液流；

一空气干燥器，用于生成干燥空气流；以及

多个测试工位，设于所述流体冷却器和所述空气干燥器的远程位置，每一测试工位包括：

一换热器，具有液体一侧和气体一侧，所述液体一侧与所述流体冷却器连接，以接收所述冷却液流，所述气体一侧与所述空气干燥器连接，以接收所述干燥空气流，所述换热器用于以所述冷却液流冷却所述干燥空气流，并生成冷却空气流；以及

一热控单元，用于对所述冷却空气流向本地测试点的分配进行控制。

3.如权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，每一热控单元还包括加热器，所述加热器用于选择性地将所述热控单元的所述冷却空气流加热至所需温度，以供分配。

4.如权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于：

每一热控单元包括热控头，所述热控头用于将所述冷却空气流分配至所述本地测试点；而且

每一热控单元还用于控制所述冷却空气流流经所述热控头的流量。

5.如权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述冷却液流在处于闭合环路中的所述流体冷却器和所述换热器之间转移，以使得所述冷却液流在流过每一换热器之后，回流至所述流体冷却器。

6.如权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于：

每一本地测试点包括被测器件；以及

每一热控单元将所述冷却空气流分配至所述热控单元的本地测试点的所述被测器件。

7.一种多个测试工位的温度控制方法，其特征在于，包括：

由一流体冷却器生成冷却液流；

由一空气干燥器生成干燥空气流；

将所述冷却液流和所述干燥空气流提供给所述多个测试工位，所述多个测试工位设于所述流体冷却器和所述空气干燥器的远程位置；

由每一测试工位的换热器以所述冷却流体冷却所述干燥空气流，以生成冷却空气流；以及

由每一测试工位的热控单元将所述测试工位的冷却空气流分配至本地测试点。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，每一热控单元包括加热器，所述方法进一步包括：

在每一热控单元处，由所述加热器选择性地将所述冷却空气流加热至所需温度，以供分配。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，每一热控单元还包括用于将所述冷却空气流分配至所述本地测试点的热控头，所述方法进一步包括：

控制所述冷却空气流流经所述热控头的流量，以供分配。

10.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述冷却液流在处于闭合环路中的所述流体冷却器和所述换热器之间转移，以使得所述冷却液流在流过每一换热器之后，回流至所述流体冷却器。

11.如权利要求7所述的方法，其特征在于：

每一本地测试点包括被测器件；以及

每一热控单元将所述冷却空气流分配至所述热控单元的本地测试点的所述被测器件。