[发明专利]光检测装置在审
申请号: | 201980071042.5 | 申请日: | 2019-08-23 |
公开(公告)号: | CN112955722A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 大山泰生;柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光;藏本有未 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26;G01J1/04;G02B5/28;G02B26/00;H01L23/02;H05K1/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种光检测装置,其特征在于,
具备:
安装基板,其具有主面;
光检测器,其配置于所述安装基板的所述主面上;
法布里-珀罗干涉滤波器,其以通过在相互相对的一对镜部间形成有空隙,而使所述一对镜部间的距离因静电力变化的方式构成;
支撑构件,其设置于所述安装基板的所述主面上,以使所述法布里-珀罗干涉滤波器与所述光检测器分离的方式支撑所述法布里-珀罗干涉滤波器;及
接地部,其连接于接地电位,
在所述法布里-珀罗干涉滤波器与所述接地部之间,形成有电阻小于自所述法布里-珀罗干涉滤波器经由所述支撑构件及所述安装基板到达所述光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。
2.如权利要求1所述的光检测装置,其特征在于,
还具备:导电性的连接构件,其以将自所述法布里-珀罗干涉滤波器流向所述支撑构件的电流成分释放至所述接地部的方式,电连接所述支撑构件或所述安装基板与所述接地部。
3.如权利要求2所述的光检测装置,其特征在于,
所述连接构件电连接沿所述安装基板的所述主面的区域与所述接地部,
所述第2电流路径是自所述法布里-珀罗干涉滤波器经由所述支撑构件、沿所述主面的区域及所述连接构件到达所述接地部的路径。
4.如权利要求3所述的光检测装置,其特征在于,
所述安装基板具有:绝缘层,其具有作为所述主面的第1面及与所述第1面为相反侧的第2面;及金属层,其设置于所述绝缘层的第2面侧,
沿所述主面的区域为所述金属层。
5.如权利要求4所述的光检测装置,其特征在于,
在所述绝缘层,形成有使所述金属层的所述绝缘层侧的面露出的开口部,
所述连接构件经由所述开口部连接于所述金属层且连接于所述接地部。
6.如权利要求4所述的光检测装置,其特征在于,
所述金属层至少设置于自所述安装基板的厚度方向观察的所述安装基板的缘部,
所述金属层中的设置于所述安装基板的所述缘部的部分露出至外部,
所述连接构件为以覆盖所述安装基板的所述缘部的方式设置,并连接所述金属层的所述部分与所述接地部的导电性树脂材料。
7.如权利要求4~6中任一项所述的光检测装置,其特征在于,
所述金属层以自所述安装基板的厚度方向观察时,与所述安装基板中设置有所述支撑构件的区域重叠的方式设置。
8.如权利要求4~7中任一项所述的光检测装置,其特征在于,
所述金属层以自所述安装基板的厚度方向观察时,不与所述光检测器重叠的方式设置。
9.如权利要求8所述的光检测装置,其特征在于,
所述金属层以自所述安装基板的厚度方向观察时,与所述安装基板中设置有所述支撑构件的区域及所述光检测器之间的任意的电流路径重叠的方式设置。
10.如权利要求3所述的光检测装置,其特征在于,
所述安装基板具有:绝缘层,其具有作为所述主面的第1面;及金属层,其设置于所述绝缘层的所述第1面与所述支撑构件之间,
沿所述主面的区域为所述金属层。
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