[发明专利]光检测装置

说明书

本公开的分光传感器具备：配线基板，其具有主面；光检测器，其配置于配线基板的主面上；法布里‑珀罗干涉滤波器；间隔件，其设置于配线基板的主面上，以使法布里‑珀罗干涉滤波器与光检测器分离的方式支撑法布里‑珀罗干涉滤波器；及底座，其连接于接地电位，在法布里‑珀罗干涉滤波器与底座之间，形成有电阻小于自法布里‑珀罗干涉滤波器经由间隔件及配线基板到达光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。

技术领域

本公开涉及一种具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。

背景技术

在专利文献1，公开有一种光学元件，其一体形成法布里-珀罗干涉滤波器与接受通过该法布里-珀罗干涉滤波器的光的光检测器(受光部)。在该光学元件中，设置有与可动反射膜相对的导电性的固定反射膜。由此，抑制产生对法布里-珀罗干涉滤波器施加驱动电压时的光检测器的检测信号中的噪声成分(串扰噪声)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-87445号公报

发明内容

发明想要解决的问题

然而，如上述光学元件那样，在一体形成法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器的构造中，由于法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器接近，因此难以充分地抑制串扰噪声。另一方面，考虑使用间隔件等支撑构件，使安装有光检测器的安装基板与法布里-珀罗干涉滤波器分离。然而，据本发明者的了解，即使采用这种结构，也有因自法布里-珀罗干涉滤波器经由支撑构件及安装基板流向光检测器的电流成分，导致串扰噪声混入于光检测器的检测信号的风险。

本公开的一个方式的目的在于提供一种可有效地抑制光检测器的检测信号中的串扰噪声的光检测装置。

解决问题的技术手段

本公开的一个方式的光检测装置具备：安装基板，其具有主面；光检测器，其配置于安装基板的主面上；法布里-珀罗干涉滤波器，其以通过在相互相对的一对镜部间形成有空隙，使一对镜面镜部间的距离因静电力而变化的方式构成；支撑构件，其设置于安装基板的主面上，以使法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器分离的方式支撑法布里-珀罗干涉滤波器；及接地部，其连接于接地电位，在法布里-珀罗干涉滤波器与接地部之间，形成有电阻小于自法布里-珀罗干涉滤波器经由支撑构件及安装基板到达光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。

在上述光检测装置中，通过支撑构件使法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器分离。由此，可增大法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器的距离。其结果，抑制因施加至法布里-珀罗干涉滤波器的驱动电压导致的光检测器的检测信号中的串扰噪声。此外，上述光检测装置中，在法布里-珀罗干涉滤波器与接地部(接地电位)之间，形成有电阻小于自法布里-珀罗干涉滤波器经由支撑构件及安装基板到达光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。因此，自法布里-珀罗干涉滤波器流向支撑构件的电流成分比光检测器更容易流向接地部。由此，抑制因自法布里-珀罗干涉滤波器经由支撑构件及安装基板流向光检测器的电流成分导致的串扰噪声。通过以上，根据上述光检测装置，可有效地抑制光检测器的检测信号中的串扰噪声。

上述光检测装置也可以还具备导电性的连接构件，其以将自法布里-珀罗干涉滤波器流向支撑构件的电流成分释放至接地部的方式电连接支撑构件或安装基板与接地部。根据该结构，可使自法布里-珀罗干涉滤波器流向支撑构件的电流成分经由导电性的连接构件适当地释放至接地部。

连接构件也可以电连接沿安装基板的主面的区域与接地部，使得第2电流路径为自法布里-珀罗干涉滤波器经由支撑构件、沿主面的区域及连接构件到达接地部的路径。根据该结构，可使以经由安装基板流向光检测器的电流成分经由连接构件适当地释放至接地部。

安装基板也可以具有：绝缘层，其具有作为主面的第1面及与第1面为相反侧的第2面；及金属层，其设置于绝缘层的第2面侧，沿主面的区域为金属层。根据该结构，可以通过绝缘层确保光检测器与金属层之间的绝缘，且将以流向光检测器的电流成分经由金属层适当地释放至接地部。