[发明专利]显微镜和显微镜检查的方法

权利要求书

1.一种显微镜，包括

用于提供照明光(12)的光源(L)，

可控的操纵设备(16)，所述操纵设备(16)用于可变地产生所述照明光(12)的待选择的照明图案(18)，

照明光束路径(10)，所述照明光束路径(10)具有用于将所述照明图案(18)指引至待检验的样品(S)上的显微镜物镜(25)，

检测器(D)，所述检测器(D)具有用于检测由所述样品(S)发出的荧光(32)的多个像素(36)，

检测光束路径(30)，所述检测光束路径(30)用于将由所述样品(S)发出的所述荧光(32)指引至所述检测器(D)上，

主分束器(19)，所述主分束器(19)用于使照明光(12)和所述荧光(32)分离，

控制和评估单元(40)，所述控制和评估单元(40)用于控制所述操纵设备(16)并且评估由所述检测器(D)测量的数据，

其特征在于：

所述操纵设备(16)在相对于样品平面(26)光学共轭的平面(15)附近被设置在所述主分束器(19)上游的所述照明光束路径(10)中，

能够由所述控制和评估单元(40)个别地并且以待选择的读出图案激活所述检测器(D)的像素(36)，以及

所述控制和评估单元(40)被配置为个别地或以取决于所选择的照明图案(18)的所选择的读出图案来激活所述检测器(D)的像素(36)。

2.根据权利要求1所述的显微镜，

其特征在于：

用于产生待选择的照明图案(18)的所述操纵设备(16)包括多个像素。

3.根据权利要求1或2所述的显微镜，

其特征在于，

所述操纵设备(16)包括数字微镜阵列(DMD)。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的显微镜，

其特征在于：

所述操纵设备(16)包括空间光调制器(SLM)。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的显微镜，

其特征在于：

用于可变地产生照明图案(18)的所述操纵设备(16)包括可旋转光阑盘(43)。

6.根据权利要求5所述的显微镜，

其特征在于，

所述可旋转光阑盘(43)包括多个针孔光阑，所述多个针孔光阑被螺旋状，特别是以阿基米德螺旋的形式设置，所述多个针孔光阑特别是Nipkow盘。

7.根据权利要求5或6所述的显微镜，

其特征在于，

所述可旋转光阑盘(43)包括多个槽。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的显微镜，

其特征在于，

在所述可旋转光阑盘(43)的上游存在微透镜阵列(42)，所述微透镜阵列(42)将照明光(12)聚焦到所述光阑盘(43)的光阑开口上，并在操作期间以与所述光阑盘(43)相同的速度旋转。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的显微镜，

其特征在于，

所述控制和评估单元被配置为使所述检测器(D)的读出图案与由所述可旋转光阑盘(43)产生的照明图案(18)同步。

10.根据权利要求5至9中的任一项所述的显微镜，

其特征在于，

存在用于测量通过所述可旋转光阑盘(43)的间歇性光透射或来自所述可旋转光阑盘(43)的间歇性光反射的光电二极管，以用于使所述检测器(D)的控制与所述可旋转光阑盘(43)的移动同步。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的显微镜，

其特征在于，

所述检测器(D)包括SPAD阵列或SPAD相机。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的显微镜，

其特征在于，

微透镜阵列存在于所述检测器(D)的上游。