[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

是通过对对象物至少对准聚光区域的一部分并照射激光而在所述对象物形成改质区域的激光加工装置，

具备：

支撑部，其支撑所述对象物；

照射部，其对通过所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光；及

控制部，其控制所述支撑部及所述照射部，

所述照射部具有以与所述激光的光轴垂直的面内的所述聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形所述激光的成形部，

所述控制部具有：

决定部，其基于关于所述对象物的对象物信息、及关于沿着在所述对象物的外缘的内侧呈环状延伸的线使所述聚光区域的一部分相对地移动的情况下的所述线的线信息，将所述线的第1部分的所述长边方向的朝向决定为第1朝向，将与所述第1部分分离的所述线的第2部分的所述长边方向的朝向决定为第2朝向，使得所述长边方向与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉；及

调整部，其调整所述第1部分的所述长边方向的朝向以成为通过所述决定部决定的所述第1朝向，调整所述第2部分的所述长边方向的朝向以成为通过所述决定部决定的所述第2朝向，

所述对象物信息为关于所述对象物的结晶方位的信息，

所述线信息为关于所述聚光区域的一部分的移动方向的信息，

所述对象物具有第1结晶方位及第2结晶方位，

所述第1朝向及所述第2朝向为以接近所述第1结晶方位及所述第2结晶方位中与所述移动方向之间角度大的一方的方式，相对于所述移动方向倾斜的方向的朝向。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在沿着所述第1部分使所述聚光区域的一部分相对地移动后，沿着所述第2部分使所述聚光区域的一部分相对地移动的情况下，所述调整部在位于所述第1部分与所述第2部分之间的所述线的第3部分上，将所述长边方向的朝向从所述第1朝向改变成所述第2朝向。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述对象物为以(100)面为主面，且具有与一方的(110)面垂直的所述第1结晶方位、及与另一方的(110)面垂直的所述第2结晶方位的晶圆，

所述线在从与所述主面垂直的方向观察的情况下呈圆环状延伸，

在将所述线与所述第2结晶方位正交的1点作为0°的点的情况下，所述第1部分包含从5°的点到15°的点之间的部分，所述第2部分包含从75°的点到85°的点之间的部分。

4.如权利要求3所述的激光加工装置，其中，

所述第1朝向及第2朝向为以接近所述第1结晶方位及所述第2结晶方位中与所述移动方向之间的角度大的一方的方式，从所述移动方向倾斜了10°～35°的方向的朝向。

5.如权利要求1～4中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述成形部为空间光调制器，

所述调整部通过控制所述空间光调制器而调整所述长边方向的朝向。

6.一种激光加工方法，其中，

是通过对对象物至少对准聚光区域的一部分并照射激光而在所述对象物形成改质区域的激光加工方法，

具备：

决定工序，其基于关于所述对象物的对象物信息、及关于沿着在所述对象物的外缘的内侧呈环状延伸的线使所述聚光区域的一部分相对地移动的情况下的所述线的线信息，将所述线的第1部分的长边方向的朝向决定为第1朝向，将与所述第1部分分离的所述线的第2部分的所述长边方向的朝向决定为第2朝向，使得与所述激光的光轴垂直的面内的所述聚光区域的一部分的形状所具有的所述长边方向与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉；及

调整工序，其调整所述第1部分的所述长边方向的朝向以成为被决定的所述第1朝向，调整所述第2部分的所述长边方向的朝向以成为被决定的所述第2朝向，

所述对象物信息为关于所述对象物的结晶方位的信息，

所述线信息为关于所述聚光区域的一部分的移动方向的信息，

所述对象物具有第1结晶方位及第2结晶方位，

所述第1朝向及所述第2朝向为以接近所述第1结晶方位及所述第2结晶方位中与所述移动方向之间角度大的一方的方式，相对于所述移动方向倾斜的方向的朝向。