[发明专利]烧结体在审
| 申请号： | 201980072532.7 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112912355A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 笘井重和;上冈义弘;胜又聪;佐佐木健一;大山正嗣 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/053;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马倩;杨戬 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烧结 | ||
【权利要求书】：
1.烧结体，其包含锌、镁和氧作为构成元素，
前述锌相对于前述锌和镁的总计的原子比[Zn/(Zn＋Mg)]为0.20~0.75，
前述镁相对于前述锌和镁的总计的原子比[Mg/(Zn＋Mg)]为0.25~0.80，
X射线衍射测定的结果是包含单一的晶体结构。
2.根据权利要求1所述的烧结体，其中，前述锌的原子比为0.20~0.49，前述镁的原子比为0.51~0.80。
3.根据权利要求1或2所述的烧结体，其中，前述单一的晶体结构为MgO的立方晶。
4.成膜用片，其包含权利要求1~3中任一项所述的烧结体。
5.溅射靶材，其包含权利要求1~3中任一项所述的烧结体。
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