[发明专利]烧结体

说明书

烧结体，其包含锌、镁和氧作为构成元素，锌相对于锌和镁的总计的原子比[Zn/(Zn+Mg)]为0.20~0.75，镁相对于锌和镁的总计的原子比[Mg/(Zn+Mg)]为0.25~0.80，X射线衍射测定的结果是包含单一的晶体结构。

技术领域

本发明涉及烧结体、薄膜的形成中使用的成膜用片和溅射靶材。

背景技术

作为具有光透过性的薄膜，使用氧化物薄膜。氧化物薄膜例如被用于发光二极管等半导体装置的电极。

MgO-ZnO系氧化物中，作为透光性陶瓷，有彩色液晶投影仪中的应用例(例如参照专利文献1)。此外，公开了ZnO-MgO系溅射靶材用烧结体，其特征在于，将Mg以MgO换算计含有3~50mol%，MgO相(包括富含MgO的固溶相)的最大晶体粒径为10μm以下，具有均匀分散的组织(参照专利文献2)。本文献中，将所得薄膜用作太阳能电池的窗口材料。

然而，在将含有氧化锌和氧化镁的成型体进行煅烧的情况下，根据混合比，进行溅射、蒸镀后的烧结体的氧化变得不均匀，有时产生在周边部与中央部或表面与内部处形成色泽的差异的问题(产生锌的析出、结节等颜色偏差)。产生颜色偏差的烧结体作为要求材质的均匀性的溅射靶材、片等成膜用材料是不适合的。

产生颜色偏差的成膜用材料中，需要将烧结体表面的颜色偏差部分通过研磨而全部削去的步骤。因此，削去的材料被浪费，此外，还存在需要用于研磨的附加步骤的问题。

即使削去颜色偏差，也存在容易因溅射而在侵蚀部与周边部处再次产生颜色偏差的问题。

像这样，存在因产生颜色偏差而导致制造步骤的复杂化和制造费用变高的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-184898号公报

专利文献2：国际公开第2012/014688号公报。

发明内容

本发明的目的在于，提供能够抑制成膜时颜色偏差的产生、减少异常放电的成膜用材料。

根据本发明的一个实施方式，提供以下的烧结体等。

1. 烧结体，其包含锌、镁和氧作为构成元素，

前述锌相对于前述锌和镁的总计的原子比[Zn/(Zn+Mg)]为0.20~0.75，

前述镁相对于前述锌和镁的总计的原子比[Mg/(Zn+Mg)]为0.25~0.80，

X射线衍射测定的结果是包含单一的晶体结构。

2. 根据1所述的烧结体，其中，前述锌的原子比为0.20~0.49，前述镁的原子比为0.51~0.80。

3. 根据1或2所述的烧结体，其中，前述单一的晶体结构为MgO的立方晶。

4. 成膜用片，其包含1~3中任一项所述的烧结体。

5. 溅射靶材，其包含1~3中任一项所述的烧结体。

根据本发明的一个实施方式，可以提供能够抑制成膜时颜色偏差的产生、减少异常放电的成膜用材料。

附图说明

图1是实施例1、比较例1和2中制作的烧结体的利用EPMA得到的元素分布谱。

图2是实施例1、比较例1和2中制作的烧结体的X射线衍射图案。

图3是实施例1、比较例1和2中制作的溅射靶材的成膜后的表面照片。

具体实施方式